[实用新型]一种大尺寸单晶的退火设备

权利要求书

1.一种大尺寸单晶的退火设备，包括炉体、保温层、分体坩埚、加热器组件、坩埚移动架和移动架升降机构；其特征在于，所述分体坩埚分为上下两部分，坩埚上部和下部分别设置在所述保温层侧壁中部及所述坩埚移动架上，所述加热器组件由上部加热器、中部加热器和底部加热器组成，所述保温层顶部、底部及保温层侧壁上部、下部均设置有温度传感器，所述坩埚移动架设置有容纳所述坩埚和坩埚增高圈中脱落的碎晶料的收纳仓。

2.如权利要求1所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述炉体的底壁和底部保温层均固定在所述坩埚移动架上。

3.如权利要求2所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述炉体的底部设置有进气管；所述炉体的顶部设置有抽气管。

4.如权利要求2所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述炉体的底壁与侧壁之间设置有密封结构。

5.如权利要求1所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述炉体的底壁与所述坩埚移动架的底板之间设置有均匀分布的四个支撑螺杆，支撑螺杆上设置有控制底壁与所述坩埚移动架的底板之间能否相对运动的限位螺母。

6.如权利要求1所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述炉体的底壁与所述坩埚移动架的底板之间设置有包覆坩埚下部支撑轴的真空波纹管。

7.如权利要求1所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述坩埚下部的底部开有均匀分布的多个小尺寸通孔。

8.如权利要求5所述的大尺寸单晶的退火设备，其特征在于，所述支撑螺杆穿过底板且自下而上2/3长度设有螺纹。