[实用新型]一种晶圆外观自动检测与标记设备

说明书

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观自动检测与标记设备，包括XYZR搬运机构、上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位，所述上下料工位和所述标记打点工位设置于所述XYZR搬运机构沿Y轴方向的两侧，所述外观检测工位设置于所述XYZR搬运机构沿X轴方向的一侧。本实用新型采用XYZR搬运机构搬运晶圆产品，通过X轴模组带动晶圆产品沿X轴方向移动，通过Y轴模组带动晶圆产品沿Y轴方向移动，通过Z轴模组带动晶圆产品沿Z轴方向移动，通过R轴模组带动晶圆产品在水平方向上转动，从而实现在上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位之间搬运晶圆产品，其可以运动至任意点位，且成本低。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观自动检测与标记设备。

背景技术

在晶圆生产过程中，晶圆的表面可能存在脏污、破损、划痕、开裂等不良现象，这些不良现象将会直接影响芯片的性能，因此为了保证芯片的质量，通常需要对晶圆的外观进行检测，并对不良点进行点墨标记。现有的晶圆检测设备一般是通过晶圆机器人将晶圆搬运至检测工位，但晶圆机器人的运动路径只能原进原出，且价格昂贵。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种晶圆外观自动检测与标记设备，采用自制XYZR搬运机构搬运晶圆产品，其可以运动至任意点位，且成本低。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为一种晶圆外观自动检测与标记设备，包括XYZR搬运机构、上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位，所述上下料工位和所述标记打点工位设置于所述XYZR搬运机构沿Y轴方向的两侧，所述外观检测工位设置于所述XYZR搬运机构沿X轴方向的一侧。

进一步地，所述XYZR搬运机构包括底座、XYZ三轴移动模组、R轴模组以及夹爪组件，所述XYZ三轴机构设置于所述底座上，所述R轴模组安装于所述XYZ三轴机构上，所述夹爪组件可转动地安装于所述R轴模组上。

更进一步地，所述R轴模组包括R轴旋转电机、R轴连接板以及R轴旋转板，所述R轴连接板安装于所述XYZ三轴机构上，所述R轴旋转电机安装于所述R轴连接板上，所述R轴旋转板的一端与所述R轴旋转电机的输出轴连接，另一端安装有所述夹爪组件。

更进一步地，所述夹爪组件包括夹持气缸以及一对夹板，所述夹持气缸固定于所述R轴旋转板上，所述夹持气缸上安装有上下相对布置的一对夹板。

更进一步地，所述R轴旋转板与所述R轴旋转电机连接的一端的边缘还设置有感应片安装块，所述感应片安装块的下端安装有感应片，所述R轴连接板上安装有原点传感器，所述原点传感器与所述感应片相配合。

更进一步地，所述R轴连接板靠近所述外观检测工位的一端的两侧分别设置有限位柱，所述限位柱与所述感应片安装块相配合。

更进一步地，所述XYZ三轴移动模组包括X轴模组、Y轴模组以及Z轴模组，所述X轴模组设置于所述底座上，所述Z轴模组滑动安装于所述X轴模组上，所述Y轴模组滑动安装于所述Z轴模组上，所述R轴模组滑动安装于所述Y轴模组上。

更进一步地，所述X轴模组包括X轴滑轨、X轴滑块以及X轴驱动机构，所述X轴滑轨设置于所述底座上，所述X轴滑块滑动安装于所述X轴滑轨上，且所述X轴滑块的一端与所述X轴驱动机构连接；所述X轴滑块上固定有Z轴连接板，所述Z轴模组安装于所述Z轴连接板上。

更进一步地，所述Z轴模组包括Z轴滑轨、Z轴滑块以及Z轴驱动机构，所述Z轴滑轨滑动安装于所述X轴模组上，所述Z轴滑块滑动安装于所述Z轴滑轨上，且所述Z轴滑块的一端与所述Z轴驱动机构连接；所述Z轴滑块上固定有Y轴连接板，所述Y轴模组安装于所述Y轴连接板上。

更进一步地，所述Y轴模组包括Y轴滑轨、Y轴滑块以及Y轴驱动机构，所述Y轴滑轨滑动安装于所述Z轴模组上，所述Y轴滑块滑动安装于所述Y轴滑轨上，且所述Y轴滑块的一端与所述Y轴驱动机构连接；所述R轴模组安装于所述Y轴滑块上。