[实用新型]一种电路板光刻胶排放系统有效

专利信息
申请号: 202221366484.8 申请日: 2022-06-02
公开(公告)号: CN217726071U 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 傅嘉炜;傅百军;陈玉峰 申请(专利权)人: 绍兴市嘉诚感光材料有限公司
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C5/02;B05C11/11
代理公司: 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 代理人: 陈孙立
地址: 312000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 电路板 光刻 排放 系统
【权利要求书】:

1.一种电路板光刻胶排放系统,包括光刻胶储备罐(1),其特征在于:所述光刻胶储备罐(1)的右侧设有连接管(3),所述连接管(3)中间设置有开关阀(5),所述连接管(3)的右侧连接有供给罐(4),所述供给罐(4)的右侧设有排气管(11),所述排气管(11)的末端设有打开阀(21),所述供给罐(4)上设有流量计(2),所述光刻胶储备罐(1)的左上侧外部设有供气源(7),所述供气源(7)的右侧设有主供气管(6),所述主供气管(6)的下侧设有支供气管(18),所述支供气管(18)的外侧设有阀门A(19),所述主供气管(6)的右侧外设有阀门B(20),所述供给罐(4)的上侧设有供液管(8),所述供液管(8)的上侧设有缓冲罐(9),所述缓冲罐(9)的右下侧设有出液管(10),所述出液管(10)上自上而下依次连接过滤器(12)、捕集阱(13)、抽液泵(14)、控制阀(15)和喷嘴(16),所述喷嘴(16)下安设待喷光刻胶的电路板(17)。

2.根据权利要求1所述的一种电路板光刻胶排放系统,其特征在于:所述连接管(3)通过一体化连接方式和供给罐(4)进行连接,所述光刻胶储备罐(1)通过套接连接方式和连接管(3)进行连接,且所述光刻胶储备罐(1)和连接管(3)的内部连接位置处设置有密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种电路板光刻胶排放系统,其特征在于:所述主供气管(6)分别和支供气管(18)以及供给罐(4)相连通,所述供液管(8)分别和供给罐(4)以及缓冲罐(9)相连通。

4.根据权利要求1所述的一种电路板光刻胶排放系统,其特征在于:所述出液管(10)分别和缓冲罐(9)、过滤器(12)、捕集阱(13)、抽液泵(14)、控制阀(15)、喷嘴(16)相连通,所述排气管(11)通过一体化连接方式和供给罐(4)进行连接。

5.根据权利要求1所述的一种电路板光刻胶排放系统,其特征在于:所述光刻胶储备罐(1)和供给罐(4)等高,且所述光刻胶储备罐(1)的容积大于供给罐(4)。

6.据权利要求1所述的一种电路板光刻胶排放系统,其特征在于:所述供气源(7)内设置有氮气,且具有不和光刻胶发生反应的特点。

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