[实用新型]一种用于晶圆输送的升降机配重机构

权利要求书

1.一种用于晶圆输送的升降机配重机构，包括配重块放置架，其特征在于，

所述配重块放置架内可放置一根或多根配重块；所述配重块放置架上设有配重块压板，所述配重块压板与所述配重块放置架固定后，与放置的最顶部的配重块接触；

所述配重块放置架上设有与升降机导轨接触且可沿所述升降机导轨移动的导轮组件；

所述配重块放置架上还设有助滑块，所述助滑块的侧面设有可容纳所述升降机导轨边缘部分的长槽，当所述配重机构上下运行时，所述助滑块可沿所述升降机导轨移动，并使所述升降机导轨与所述配重块放置架处于同一平面。

2.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述配重块放置架包括左侧放置杆和右侧放置杆，所述左侧放置杆和所述右侧放置杆的内侧均设有用于放置所述配重块的U型槽。

3.如权利要求2所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述左侧放置杆和所述右侧放置杆的上部分别开设有配重块安装孔。

4.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述配重块压板包括内压板和外压板，所述内压板和所述外压板分别置于所述配重块放置架的两侧，并通过第一螺丝连接固定。

5.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述配重块放置架的下侧设有配重块支撑块，用于支撑放置的最底部的配重块。

6.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述助滑块与所述升降机导轨之间、所述导轮组件与所述升降机导轨之间的距离可调节。

7.如权利要求6所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述配重块放置架上设有螺纹孔；

所述助滑块上开设有第一长条形安装孔；

所述导轮组件包括导轮固定座，所述导轮固定座上开设有与所述第一长条形安装孔位置对应的第二长条形安装孔，通过第二螺丝依次穿过所述第二长条形安装孔、所述第一长条形安装孔与所述螺纹孔，可将所述导轮组件、所述助滑块与所述配重块放置架固定。

8.如权利要求7所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述导轮组件还包括直接与所述升降机导轨接触的轮毂以及位于所述轮毂中心的轴承，所述轴承通过连接杆固定于所述导轮固定座上。

9.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述配重块放置架的上、下侧的中间位置分别设有吊杆，上侧吊杆连接有第一链条，下侧导杆连接有第二链条，所述第一链条和所述第二链条的另外一端分别与升降机吊篮的上下侧连接。

10.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，

所述配重块放置架为矩形，所述导轮和所述助滑块均为四个，分别位于所述配重块放置架的四个角。