[实用新型]一种用于有害气体的处理器

权利要求书

1.一种用于有害气体的处理器，其特征在于，包括热分解腔和反应腔；

所述热分解腔和反应腔之间设有连接法兰，所述热分解腔和反应腔通过连接法兰连通且不具有重叠区域。

2.根据权利要求1所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，所述连接法兰包括法兰基体以及设于法兰基体上的溢流槽和溢流支管；

供水单元通过溢流支管与溢流槽连通，所述溢流支管的进液口与溢流槽侧壁的切向的夹角为α，0°＜α＜90°。

3.根据权利要求1所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，还包括用于为有害气体反应提供反应气的反应气供应单元，所述反应气供应单元包括多个反应气喷嘴，多个反应气喷嘴沿热分解腔的轴向均匀布置。

4.根据权利要求1所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，还包括用于为热分解腔提供热量加热单元，所述加热单元包括设于热分解腔顶端的火焰发生器，所述火焰发生器产生的火焰贯穿热分解腔并延伸至反应腔中。

5.根据权利要求4所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，所述火焰发生器为燃气火焰发生器或离子体火焰发生器。

6.根据权利要求4所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，所述加热单元还包括液冷回路，所述液冷回路包括液冷腔以及位于液冷腔外部的液冷进液管和液冷出液管，所述液冷腔位于火焰发生器外壁；

所述液冷进液管和液冷出液管分别与液冷腔连通，构成液冷回路。

7.根据权利要求1至6任一项所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，所述反应腔的内壁设有耐腐蚀层；

和/或，所述热分解腔的内壁设有防火层。

8.根据权利要求1至6任一项所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，所述反应腔的侧壁设有把手。

9.根据权利要求1至6任一项所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，还包括进气组件，所述进气组件包括进气管、弯头和吹扫管，所述进气管的进气口与泛半导体的加工设备的尾气出口连通；

所述弯头包括相互连通的第一弯头管、第二弯头管和第三弯头管，所述第一弯头管与进气管的出气口连通，所述第二弯头管与吹扫管连通，所述第三弯头管与热分解腔连通；

所述第二弯头管的轴线与第三弯头管的轴线的夹角为β，90°＜β≤180°，所述第一弯头管的轴线与第三弯头管的轴线的夹角为γ，0°＜γ≤90°。

10.根据权利要求1至6任一项所述的用于有害气体的处理器，其特征在于，还包括水位观察管；

所述反应腔侧壁包括内层和外层，所述内层和外层之间的腔室为夹层腔，所述水位观察管与内层和外层之间的夹层腔连通。