[实用新型]硅片扩散系统

说明书

本实用新型涉及一种硅片扩散系统，将第二安装部与第一安装部进行连接时，使得导热部能够与扩散装置热传递配合，再将清洗后的扩散滤芯放置在放置口处进行存放，进而使得扩散装置的余热能够通过承托件传递至扩散滤芯而对扩散滤芯进行干燥。并且，扩散装置的余热能够持续的传递至扩散滤芯，从而能够避免扩散滤芯在存放过程中受潮，保证在后续使用过程中化学隔膜泵的压力不会超出额定压力，保证工序的正常进行。

技术领域

本实用新型涉及硅片扩散技术领域，特别是涉及一种硅片扩散系统。

背景技术

扩散滤芯的过滤对象为偏磷酸，在使用一段时间后需要进行清洗以重复进行使用。扩散滤芯清洗后需要进行干燥以保证扩散滤芯的正常工作，传统的方式为利用甩干机或烘干机对扩散滤芯进行干燥，干燥后的扩散滤芯在存放过程中易受潮，容易造成化学隔膜泵的压力升高而超出额定压力，影响工序的正常进行。

实用新型内容

基于此，有必要针对扩散滤芯在存放过程中易受潮的问题，提供一种硅片扩散系统。

其技术方案如下：

一方面，提供了一种硅片扩散系统，包括：

扩散装置，所述扩散装置设有第一安装部；及

承托件，所述承托件设有导热部、第二安装部及用于供扩散滤芯放置的放置口，且所述第二安装部与所述第一安装部连接时，所述导热部与所述扩散装置热传递配合，使所述扩散装置的余热能够传递至所述扩散滤芯。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，所述扩散装置包括炉体及用于对所述炉体供应扩散气的气源体，所述炉体与所述气源体相邻设置并热传递配合，所述气源体设有所述第一安装部，且所述第一安装部靠近所述炉体设置。

在其中一个实施例中，所述气源体设有气源腔及与所述气源腔连通的安装口，所述承托件设置于所述气源腔内，所述硅片扩散系统还包括抽风元件，所述抽风元件安装于所述安装口内。

在其中一个实施例中，所述放置口设置为圆孔形，且所述放置口的直径以预设差值大于所述扩散滤芯的外径。

在其中一个实施例中，所述承托件包括上壳体及下壳体，所述上壳体与所述下壳体相互连接围设成沥水腔，所述下壳体上设有所述导热部及所述第二安装部，所述上壳体上设有与所述沥水腔连通的所述放置口。

在其中一个实施例中，所述第一安装部设有第一安装孔，所述第二安装部设有与所述第一安装孔对应连通的第二安装孔，所述硅片扩散系统还包括紧固件，所述紧固件与所述第一安装孔及所述第二安装孔均紧固配合。

在其中一个实施例中，所述沥水腔的内侧壁设有挡水凸缘，所述挡水凸缘环绕所述第二安装孔的周向设置。

在其中一个实施例中，所述下壳体包括导热底壁及环绕所述导热底壁的周向设置的第一翻边，所述导热底壁上设有所述第二安装部，且至少部分所述导热底壁形成所述导热部；所述上壳体包括顶壁及环绕所述顶壁的周向设置的第二翻边，所述顶壁上设有所述放置口，所述第二翻边与所述第一翻边相互套接，使所述导热底壁、所述第一翻边、所述第二翻边及所述顶壁围设成所述沥水腔。

在其中一个实施例中，所述放置口至少为两个，至少两个所述放置口呈至少两行排布，相邻的两行中的所述放置口相互错位设置。

在其中一个实施例中，所述承托件还设有限位部，所述限位部环绕所述放置口设置，且所述限位部能够与所述扩散滤芯限位配合。