[实用新型]一种双光路合流芯片检测装置

权利要求书

1.一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，包括双光路合流模块和检测镜组模块，待检测芯片在垂直方向上放入所述双光路合流模块，被照明的所述待检测芯片的两个表面分别形成第一光路和第二光路，所述第一光路和所述第二光路在所述双光路合流模块中形成方向垂直且光线边界无缝汇合的双光路，所述双光路合流模块包括转像棱镜，所述双光路经由所述转像棱镜反射后沿着水平光路方向进入所述检测镜组模块，所述检测镜组模块可位移地设置于所述水平光路方向上。

2.根据权利要求1所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述双光路合流模块还包括依次设置在垂直方向上的转像光学元件、合像光学元件，所述转像光学元件设置在所述待检测芯片和所述合像光学元件的两侧部上。

3.根据权利要求2所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述转像光学元件包含两块平板分光镜、两块等腰直角棱镜和固定板，两块所述平板分光镜分别对应着所述待检测芯片的两个表面，两块所述平板分光镜与水平平面夹角为45°；

两块所述等腰直角棱镜对应地设置在所述分光镜下方，两块所述等腰直角棱镜的斜面与水平平面夹角为45°，所述等腰直角棱镜的斜面为全反射面，所述两块平板分光镜和所述两块等腰直角棱镜通过所述固定板固定。

4.根据权利要求2所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述合像光学元件包括两块以背对背方式放置的等腰直角棱镜，所述等腰直角棱镜斜面与垂直平面的夹角为45°，所述等腰直角棱镜的斜面为全反射面。

5.根据权利要求2所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述转像棱镜设置在所述合像光学元件的下方，所述转像棱镜的斜面与水平平面夹角为45°，所述转像棱镜的斜面为全反射面。

6.根据权利要求2所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述双光路合流模块包括两个条形光源，两个所述条形光源分别设置在所述转像光学元件的外侧，所述条形光源的光线打亮所述待检测芯片的两个表面。

7.根据权利要求1所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，还包括底座，所述双光路合流模块和所述检测镜组模块沿着水平方向依次设置在所述底座上。

8.根据权利要求7所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述检测镜组模块包括电机模组、镜头固定单元、导轨和镜组，所述镜组包括远心镜头和相机，所述导轨、电机模组固定在所述底座上，所述镜组固定在所述导轨上，所述电机模组带动所述导轨上的所述镜组前后移动。

9.根据权利要求8所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述导轨为交叉滚子导轨。

10.根据权利要求9所述的一种双光路合流芯片检测装置，其特征在于，所述电机模组为直线步进电机模组，所述直线步进电机模组包括直线步进电机、安装板、螺母座和护罩。