[实用新型]一种新型还原炉尾气罩

说明书

本实用新型公开了一种新型还原炉尾气罩，属于多晶硅生产技术领域，包括进气管和设置在进气管内部的出料管，所述进气管上端设置有进气顶盖，所述出料管两端开口，所述进气管中下部的外壁上设置有多个进气孔，所述进气管低端通过多个连接部与出料管相连，所述进气管和出料管之间设置有环腔，所述环腔下端被多个连接部分割出多个硅粉掉落口。还原尾气从进气管侧壁设置的进气口进入环腔中，尾气竖直向上流动并从出料管上端进入出料管，形成高效折流通道；硅粉从硅粉掉落口流出，硅粉掉落在硅粉掉落台进行缓冲，避免硅粉直接在还原炉内对还原炉造成损伤。本实用新型具有减少清理频次，便有利于还原炉稳定运行。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种新型还原炉尾气罩。

背景技术

电子级多晶硅材料是众多高科技电子信息行业不可或缺的原料。电子级多晶硅不仅可应用于太阳能光伏电池而且可以大量用于集成电路等半导体器件等产品中，具有不可替代的作用。在电子级多晶硅生产过程中，还原系统中的还原炉是其中的重要组件。高纯的三氯氢硅和氢气在一定的温度下在还原炉中反应生成的多晶硅沉积在硅芯上来制备多晶硅。高纯的三氯氢硅和氢气以一定的配比不断地通过还原炉的进气装置进入还原炉，而还原尾气(主要成分氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、无定性硅、氯化氢等)通过还原炉尾气出口进入尾气回收装置。待还原炉达到停炉条件时，对还原炉进行降温、置换后，对其中的硅棒进行收割。

一般还原炉尾气出口位于还原炉底盘中央，在还原炉收割过程中，硅块一旦掉落，便直接从尾气出口掉落到尾气管线中，造成尾气管线堵塞，在下一批次运行时会造成尾气排放不畅，还原炉压力波动的问题。为防止掉落硅块堆积造成尾气管线堵塞，需要定期对还原炉尾气管线拆卸进行清理，一旦管道残留氯硅烷物料，清理过程存在安全风险，同时尾气管道属于一级清洗管道，经常拆装检修，会对尾气系统造成污染，直接影响多晶硅产品质量。

目前，多晶硅还原炉内尾气拦截方式主要包括使用一种钼合金尾气罩，这种尾气罩价格昂贵，且其结构及气流通道不具备对气流中的硅粉、硅块的拦截作用，管道设施和设备磨损依然严重。还有就是配置筛网状结构的合金或不锈钢部件，罩住尾气孔，但这也存在着容易被腐蚀，使用寿命短，需要经常更换，维修频繁，影响生产效率等问题。

公告号为CN209065431U，公告日为2019.07.05的中国专利公开了一种多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述防护罩包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。该尾气防护罩使用时容易造成硅粉堆满储料环，硅粉会重新刮入内罩中，并不有利于减少还原炉的清理频次。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的问题，提供一种新型还原炉尾气罩，还原尾气从进气管侧壁设置的进气口进入环腔中，尾气竖直向上流动并从出料管上端进入出料管，形成高效折流通道；硅粉从硅粉掉落口流出，硅粉掉落在硅粉掉落台进行缓冲，避免硅粉直接在还原炉内对还原炉造成损伤。本实用新型具有减少清理频次，便有利于还原炉稳定运行。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种新型还原炉尾气罩，包括进气管和设置在进气管内部的出料管，所述进气管上端设置有进气顶盖，所述出料管两端开口，其特征在于：所述进气管中下部的外壁上设置有多个进气孔，所述进气管低端通过多个连接部与出料管相连，所述进气管和出料管之间设置有环腔，所述环腔下端被多个连接部分割出多个硅粉掉落口。

优选的，所述进气管和出料管均为圆管。

优选的，所述硅粉掉落口下端设置有硅粉掉落台。

优选的，所述硅粉掉落台侧面与水平的夹角α为120°。

优选的，所述硅粉掉落台下端设置有底部承台。

优选的，所述进气孔采用圆角矩形。