[实用新型]一种多列辊子式磁流变抛光机

说明书

本实用新型涉及一种多列辊子式磁流变抛光机，其包括升降机构、驱动机构、旋转机构和循环机构，升降装置是电机丝杆滑组，位于四角，底部与壳体固定，实现驱动机构的升降运动；旋转机构包括底座、旋转电机和载物盘，所述底座设在腔体内，所述的旋转电机固定在底座上，旋转电机的输出轴背离底座与载物盘固定连接；驱动机构主要包括传动辊，所述传动辊包括传动轴，所述传动轴外周间隔分布若干磁环，所述磁环和传动轴外周由铁皮环包裹密封；循环机构的磁流变抛光液由于磁场的原因附着在传动辊外表面，传动辊与粘在载物盘的工件发生相对滑动，实现抛光，采用以上技术方案可以加工较大平面工件。

技术领域

本实用新型涉及磁流变抛光领域，具体涉及了一种多列辊子式磁流变抛光机。

背景技术

磁流变抛光是一种柔性的高精度加工方法，磁流变抛光液在磁场的作用下会发生流变效应，磁性颗粒会形磁性链条，夹杂着抛光磨粒在工件表面滑移，实现材料去除的目的，达到抛光的效果。现在主要有以下几种磁流变抛光机，一种是定点抛光，抛光头为小型永磁体，这样就导致只能加工较小的零件，加工效率较低。还有一种是抛光轮式抛光机，抛光轮中放置电磁铁，在抛光轮外表面形成抛光缎带，这样的抛光机磁场可以改变，效率也有所提高，但是只能加工较小的工件且需要解决电磁铁通电问题，基于以上几点，现有的磁流变抛光机存在只能加工较小的零件且加工效率低的问题，缺少对直径较大的晶圆、玻璃片、碳化硅等硬脆型平面样件抛光的抛光机。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种可以加工较大平面工件的多列辊子式磁流变抛光机。

本实用新型的一种多列辊子式磁流变抛光机，采用以下技术方案：其包括

底壳，其为顶部具有开口的腔体；

旋转机构，其包括底座、旋转电机和载物盘，所述底座设在腔体内，所述的旋转电机固定在底座上，旋转电机的输出轴背离底座与载物盘固定连接；

升降机构，其包括固定架、丝杆、滑块和升降电机，所述固定架设在旋转机构的四周，垂直固定在腔体内，所述丝杆转动设在固定架两端，所述升降电机设在固定架上，升降电机的输出轴与丝杆连接，所述滑块设有与丝杆螺纹匹配的内螺纹，滑块与丝杆螺纹连接；

驱动机构，其包括若干个传动辊、两个传动辊固定板、驱动电机、电机座板，所述两个传动辊固定板相对设置，其两端与对应的滑块背离底壳侧壁一侧固定连接；所述电机座板设在相对设置地传动辊固定板之间，其两端与传动辊固定板的一端固定连接；电机座板两端端面上设有驱动电机；所述若干个传动辊两端转动连接在两个传动辊固定板之间，靠近驱动电机一侧的传动辊的两端分别通过传动带与对应的驱动电机的输出轴连接，其余相邻的两个传动辊的两端分别通过传动带连接；所述传动辊包括传动轴，所述传动轴外周间隔分布若干磁环，所述磁环和传动轴外周由铁皮环包裹密封；

循环机构，其包括储液罐、输出管、输入管、蠕动泵和传动辊盖板，所述传动辊盖板设在传动辊上方，传动辊盖板的四个转角向传动辊固定板延伸有固定部，所述固定部固定在传动辊固定板外侧，所述传动辊盖板上设有入液口，腔体底部设有出液口，所述输入管一端与入液口连接，输入管另一端连通储液罐顶部，所述输出管一端与出液口连接，输出管的另一端与储液罐底部连通，所述储液罐内设有蠕动泵和磁流变抛光液。

进一步，所述传动辊之间还设有张紧杆，所述张紧杆的两端设有外螺纹，所述传动辊固定板对应张紧杆设有通孔，张紧杆两端分别穿过所述通孔与螺母螺纹连接。

进一步，所述传动辊盖板的四边对应传动辊的形状向其延伸有遮挡板。

进一步，所述传动辊盖板的对应传动辊设有若干个入液口，入液口与输入支管连接，所述输入支管与所述输入管一端连通。

进一步，所述传动辊盖板的对应传动辊等分设有若干个入液口。

进一步，所述磁环之间设有垫圈，所述垫圈由铁材料成型。