[实用新型]面板蚀刻装置

权利要求书

1.一种面板蚀刻装置，其特征在于，包括：

反应室，所述反应室的侧壁设置有观察孔，所述观察孔内设置有绝缘套，所述绝缘套覆盖所述观察孔的孔壁；

绝缘板，所述绝缘板设置在所述反应室的内侧壁并覆盖所述反应室的内侧壁，所述绝缘板上对应所述观察孔的位置设置有第一通孔；

绝缘件，所述绝缘件包括盖板和设置在所述盖板上的第一凸环，所述盖板和所述绝缘板贴合，所述第一凸环插入所述第一通孔内，且所述第一凸环的外侧壁覆盖所述第一通孔的孔壁，所述第一凸环内的第二通孔贯穿所述盖板；

封堵件，所述封堵件固定在所述反应室外，所述封堵件用于封堵所述观察孔，所述封堵件对应所述观察孔的位置设置有透明区。

2.根据权利要求1所述的面板蚀刻装置，其特征在于，包括多个固定件，所述固定件包括螺柱和陶瓷盖帽，所述陶瓷盖帽的端面上设置有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔为盲孔，所述螺柱的一端旋拧入所述第一螺纹孔内，所述盖板上间隔设置有多个第一安装孔，所述绝缘板上间隔设置有多个第二安装孔，所述反应室的侧壁上间隔设置有多个第二螺纹孔，所述第一安装孔、所述第二安装孔和所述第二螺纹孔的数量均与所述固定件的数量对应，所述螺柱远离所述陶瓷盖帽的一端穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔旋拧入所述第二螺纹孔内，所述陶瓷盖帽开设有所述第一螺纹孔的端面和所述绝缘件侧面抵紧。

3.根据权利要求1所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述第一通孔的孔壁设置有内螺纹，所述第一凸环的外周设置有外螺纹，所述绝缘件和所述绝缘板螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述绝缘件和所述绝缘套一体成型。

5.根据权利要求4所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述观察孔的孔壁设置有内螺纹，所述绝缘套的外周设置有外螺纹，所述绝缘套和所述反应室螺纹连接；或，

所述绝缘套和所述观察孔过盈配合。

6.根据权利要求1所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述绝缘件还包括安装板，所述安装板固定在所述第一凸环远离所述盖板的一侧，所述第二通孔贯穿所述安装板，所述封堵件包括透明板和压板，所述压板上设置有第三安装孔，所述透明板上设置有第四安装孔，所述安装板上设置有第三螺纹孔，螺钉穿过所述第三安装孔和所述第四安装孔旋拧入所述第三螺纹孔内，且所述螺钉的端部与所述反应室的外侧壁抵紧，所述螺钉的螺帽与所述压板抵紧。

7.根据权利要求6所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述盖板和所述绝缘板之间夹紧有第一密封圈；

所述安装板和所述透明板之间夹紧有第二密封圈；

所述透明板和所述压板之间夹紧有第三密封圈。

8.根据权利要求7所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述第二密封圈设置有两个，两个所述第二密封圈同心设置，所述螺钉位于两个所述第二密封圈之间；和/或，

所述第三密封圈设置有两个，两个所述第三密封圈同心设置，所述螺钉位于两个所述第三密封圈之间。

9.根据权利要求6所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述盖板靠近所述绝缘板的一侧面设置有第二凸环，所述第二通孔位于所述第二凸环内。

10.根据权利要求9所述的面板蚀刻装置，其特征在于，所述第二凸环靠近所述绝缘板的一侧面为弧面。