[实用新型]一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置

权利要求书

1.一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，包括用于发射飞秒激光光束的飞秒激光器，其特征在于：还包括激光器控制模块、光束偏转模块、光束平移模块、聚焦镜(5)和协同控制模块；其中：

所述激光器控制模块包括沿光路方向依次设置的扩束器和全反射棱镜(9)，所述扩束器设置在所述飞秒激光器出射面上，所述全反射棱镜(9)设置在所述扩束器的出射面上；所述全反射棱镜(9)的下方依次垂直分布有所述光束偏转模块、光束平移模块和聚焦镜(5)；

所述光束偏转模块包括一偏转光楔组；所述偏转光楔组包括相对设置的上偏转光楔(1)和下偏转光楔(2)；

所述光束平移模块包括一平行平板组；所述平行平板组包括上平板(3)和下平板(4)；

所述协同控制模块分别与所述飞秒激光器、激光器控制模块、光束偏转模块、光束平移模块、聚焦镜(5)电性连接；控制入射的飞秒激光光速依次通过所述激光器控制模块、光束偏转模块、光束平移模块、聚焦镜(5)后对待加工工件(6)进行微孔加工。

2.根据权利要求1所述的一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，其特征在于：所述上偏转光楔(1)和下偏转光楔(2)的旋转轴以及光轴两两互相垂直。

3.根据权利要求1所述的一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，其特征在于：所述上平板(3)和下平板(4)为厚度相等的平行平板。

4.根据权利要求1所述的一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，其特征在于：所述上平板(3)和下平板(4)相互平行设置，且上平板(3)和下平板(4)相对于水平方向倾斜的角度范围为0～90°。

5.根据权利要求1所述的一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，其特征在于：所述扩束器包括扩束镜(7)和准直镜(8)。

6.根据权利要求1所述的一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，其特征在于：所述飞秒激光器发射的激光束水平通过所述全反射棱镜(9)。