[实用新型]一种晶圆干燥升降分离机构

权利要求书

1.一种晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，包括：

立柱(1)，竖直设置在底座(9)上；

动力组件(2)，包括电机(20)，设置于所述立柱(1)上的螺杆(21)；

滑轨(11)，设置在立柱(1)上，所述滑轨(11)上滑动地设置有第一滑块(111)和第二滑块(112)，第一滑块(111)设置在螺杆(21)；

连杆(13)，包括：第一连杆(131)和第二连杆(132)，第一连杆(131)和第二连杆(132)的连接处具有滚轮(133)，第一连杆(131)与第一滑块(111)转动连接，第二连杆(132)与第二滑块(112)转动连接；

导向块(12)，设置在立柱(1)一侧，具有导向面并与滚轮(133)配合，所述滚轮(133)在导向面上移动，所述导向面从下至上包括第一导向面(121)、第二导向面(122)、第三导向面(123)和第四导向面(124)，第一导向面(121)为竖直面，第二导向面(122)、第三导向面(123)为倾斜面，第四导向面(124)为椭圆弧面，第三导向面(123)的倾角大于第二导向面(122)；

晶圆篮支撑座(25)，通过第一连接杆(231)与第二滑块(112)连接；

晶圆支撑座(26)，通过第二连接杆(232)与第一滑块(111)连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述滑轨(11)为平行设置两条，所述螺杆(21)设置在两条滑轨(11)之间。

3.根据权利要求2所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述螺杆(21)向远离导向块(12)的位置偏离两条滑轨(11)的中间线。

4.根据权利要求1-3任一项所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述电机(20)的输出轴朝下设置，与螺杆(21)底部联动设置。

5.根据权利要求4所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述电机(20)的输出轴上设置有第一皮带轮(221)，螺杆(21)底部设置有第二皮带轮(222)，第一皮带轮(221)与第二皮带轮(222)通过皮带连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述导向块(12)的顶部还设置顶部限位块(125)，用于防止滚轮(133)超过第四导向面(124)。

7.根据权利要求1所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述晶圆篮支撑座(25)与晶圆支撑座(26)分别通过Z形的连接杆与第二滑块(112)和第一滑块(111)连接，晶圆篮支撑座(25)的连接杆为两根，晶圆支撑座(26)的连接杆位于晶圆篮支撑座(25)的连接杆之间。

8.根据权利要求1所述的晶圆干燥升降分离机构，其特征在于，所述晶圆支撑座(26)上设置有顶块，顶块上成型有容纳晶圆的凹槽。