[实用新型]一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置

权利要求书

1.一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：包括支架（1），支架（1）上设置有蓝宝石晶片吸附台（2），蓝宝石晶片吸附台（2）的工作面为平面，工作面上分布有若干个真空吸附孔（6）和测量点，真空吸附孔（6）通过气管与真空泵连接，测量点处设置缺口，穿过测量点且与工作面垂直的直线上设置有两个探针（3），两个探针（3）的触头相对，探针（3）安装在支架（1）上的直线驱动单元（4）上，探针（3）上设置有位移监测元件（5），探针（3）的触头与蓝宝石晶片吸附台（2）的工作面为同一平面时位移监测元件（5）的记录数值归零。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的蓝宝石晶片吸附台（2）的工作面是十字形，十字形的工作面的四条边上各设置有一个真空吸附孔（6），四条边上的真空吸附孔（6）位于以十字形的工作面的中心为圆心的圆周上。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的测量点有五个，分别布置在十字形的工作面的中心和两两临边之间，其余四个测量点位于以中心测量点为圆心的圆周上，蓝宝石晶片吸附台（2）上在十字形的工作面的中心开有通孔。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的支架（1）为三层结构，底层为底座、中层和顶层安装有直线驱动单元（4）；蓝宝石晶片吸附台（2）包括一个空心支柱和一个十字花台，空心支柱立在支架（1）的中层，十字花台悬空。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的十字花台的顶面贴于软性胶垫。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的直线驱动单元（4）是线性马达。

7.根据权利要求6所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的位移监测元件（5）位于探针（3）接近直线驱动单元（4）的一侧。

8.根据权利要求7所述的一种蓝宝石晶片厚度及平面度自动检测装置，其特征在于：所述的探针（3）的触头为球形。