[实用新型]一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装

说明书

本实用新型属于蓝宝石检测技术领域，具体涉及一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装；包括工作平台，工作平台上设置有两个夹紧部、一个直线滑块和一个定向挡板，直线滑块和定向挡板位于两个夹紧部之间的中线上，定向挡板的中间开有缝隙作为射线入射点，两个夹紧部用于夹紧固定蓝宝石晶棒的棒身，直线滑块用于与蓝宝石晶棒的Notch槽卡嵌配合，直线滑块与推拉机构连接向定向挡板滑移；工作平台安装在可翻转的支座上，支座的转轴与直线滑块的滑移方向垂直；通过直线滑块对Notch槽限位和两个夹紧部准确固定Notch槽蓝宝石晶棒测量位置，使X射线定向仪能够精准测量Notch槽蓝宝石晶棒的晶向。

技术领域

本实用新型属于蓝宝石检测技术领域，具体涉及一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装。

背景技术

蓝宝石的组成为氧化铝（Al₂O₃），是由三个氧原子和两个铝原子以共价键结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。它常被应用的切面有A-Plane，C-Plane及R-Plane。由于蓝宝石的光学穿透带很宽，从近紫外光到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性等特点，因此常被用来作为光电元件的材料，同时也成为工业中一种重要的基础材料。

随着蓝宝石产品市场的持续发展和对蓝宝石产品需求量的增加，各应用领域对蓝宝石产品的晶片面积和产品数量要求不断提高。为增大晶片面积，将蓝宝石晶棒的导向边改为Notch槽，在保证对后续加工导向作用的同时，减少导向边对晶棒面积的损耗，使产品利用面积最大化。但将导向边改为Notch槽后，可供X射线定向仪检测晶向的位置消失，无法对晶棒Notch槽的晶向进行检测。因此，需要一种能够对Notch槽蓝宝石晶棒的晶向进行检测的辅助装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提高晶棒的稳固性，同时可有效调节晶棒的角度，从而与定向仪进行配合，提高Notch槽蓝宝石晶棒晶向的检测效率。

本实用新型提供了如下技术方案：一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装，包括工作平台，工作平台上设置有两个夹紧部、一个直线滑块和一个定向挡板，直线滑块和定向挡板位于两个夹紧部之间的中线上，定向挡板的中间开有缝隙作为射线入射点，两个夹紧部用于夹紧固定蓝宝石晶棒的棒身，直线滑块用于与蓝宝石晶棒的Notch槽卡嵌配合，直线滑块与推拉机构连接向定向挡板滑移；工作平台安装在可翻转的支座上，支座的转轴与直线滑块的滑移方向垂直。

进一步地，工作平台上开有两条横向的滑槽和一条竖向的滑槽，两条横向的滑槽位于同一直线，竖向的滑槽位于两条横向的滑槽之间的中线上；每条横向的滑槽中滑动装嵌有一个夹持立柱，两个夹持立柱与安装在工作平台底部的丝杠螺旋配合连接，且两个夹持立柱与丝杠旋合的旋向相反；直线滑块限制在竖向的滑槽内，直线滑块与工作平台之间连接有拉簧，拉簧向定向挡板牵拉直线滑块。

进一步地，丝杠包括中间的转动连接部和位于转动连接部两侧的正向螺纹段和反向螺纹段，两个夹持立柱上的螺孔的螺纹旋向相同，两个夹持立柱分别与丝杠的正向螺纹段和反向螺纹段配合连接，丝杠通过转动连接部安装在工作平台上，丝杠的一端安装有手轮。

进一步地，支座包括固定支座和翻转支座，翻转支座通过一根转轴安装在固定支座上，工作平台支撑在翻转支座上的支柱上。

进一步地，翻转支座底部的轴套置于固定支座上的两个轴架之间并穿入端部刻有螺纹的转轴，转轴的螺纹段连接有螺母，螺母锁紧限制翻转支座转动。

与现有技术相比，本实用新型的优势在于：

本实用新型提供的一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装，自动化程度较高，通过检测Notch槽晶棒轴线的对应端，进而间接性的检测Notch槽的晶向，并借助X射线定向仪微安表示数值情况，精准了解Notch槽的晶向角度偏差；通过直线滑块对Notch槽限位和两个夹紧部准确固定Notch槽蓝宝石晶棒测量位置，使X射线定向仪能够精准测量Notch槽蓝宝石晶棒的晶向。