[实用新型]石英晶片抛光装置有效

专利信息
申请号: 202221567789.5 申请日: 2022-06-22
公开(公告)号: CN218312738U 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 赵海峰 申请(专利权)人: 沈阳晶润半导体材料有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22
代理公司: 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 代理人: 王阳虹
地址: 110000 辽宁省沈阳市*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 石英 晶片 抛光 装置
【权利要求书】:

1.石英晶片抛光装置,包括底板(3),其特征在于:所述底板(3)的上侧固定拱形支架(1),所述拱形支架(1)的上侧中心轴承连接锥齿轮一(8)的中心轴,所述锥齿轮一(8)的下侧中心固定连接套筒(12),所述锥齿轮一(8)啮合锥齿轮二(7),所述锥齿轮二(7)轴承连接L形板(5)的立板,所述L形板(5)的立板固定所述拱形支架(1)的上侧,所述L形板(5)的横板轴承连接锥齿轮三(24)的中心轴,所述锥齿轮三(24)的中心下端固定转动柱(25)的上端,所述转动柱(25)穿过所述锥齿轮一(8)的中心轴和套筒(12),所述转动柱(25)的下端固定连接圆板(15)的中心,所述圆板(15)上设置有一组均匀排布的圆槽(16);

所述L形板(5)的立板固定电机(6),所述电机(6)的输出轴固定连接所述锥齿轮二(7)的中心轴。

2.根据权利要求1所述的石英晶片抛光装置,其特征在于:每个所述圆槽(16)的底端分别设置有滑槽(18),所述滑槽(18)设置在所述圆板(15)上,每个所述滑槽(18)内分别设置有对称的滑块(20),每个所述滑块(20)的上侧分别固定连接V形夹持杆(17)。

3.根据权利要求2所述的石英晶片抛光装置,其特征在于:每个所述滑槽(18)内分设置有螺杆二(19),所述螺杆二(19)轴承连接所述圆板(15),每个所述螺杆二(19)分别通过反向螺纹螺纹连接对称的所述滑块(20),每个所述螺杆二(19)的一端分别固定旋钮(4)。

4.根据权利要求1所述的石英晶片抛光装置,其特征在于:所述套筒(12)的弧面固定对称的边条(13),对称的所述边条(13)分别匹配卡槽(23),两个所述卡槽(23)均设置在套环(22)的内壁,所述套环(22)固定在打磨盘(2)的中心孔内。

5.根据权利要求4所述的石英晶片抛光装置,其特征在于:所述套环(22)的上端轴承连接移动杆(9)的一端,所述移动杆(9)的另一端轴承连接螺杆(10)的下端,所述螺杆(10)螺纹连接所述拱形支架(1)的上侧,所述螺杆(10)的上端固定把手(11)。

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