[实用新型]一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统

权利要求书

1.一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，

所述真空系统包括第一真空机构和第二真空机构；

其中所述第一真空机构包括冷凝泵和冷凝泵前级泵，所述冷凝泵连接冷凝泵前级泵和工件装载单元的腔室，冷凝泵前级泵冷凝泵前级泵和连接工件装载单元的腔室；

所述第二真空机构包括分子泵和分子泵前级泵，所述分子泵连接分子泵前级泵和蒸发单元的腔室，分子泵前级泵连接分子泵和蒸发单元的腔室；

所述第一真空机构用以在工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间封闭时单独对工件装载单元抽真空，或在工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间连通时对工件装载单元和沉积物料蒸发单元同时抽真空；

所述第二真空机构用以在工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间封闭时单独对沉积物料蒸发单元抽真空，或在工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间连通时对工件装载单元和沉积物料蒸发单元同时抽真空。

2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，所述分子泵和分子泵前级泵的数量为一个或多个。

3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，所述冷凝泵和冷凝泵前级泵的数量为一个或多个。

4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，所述冷凝泵前级泵通过管道连接工件装载单元的腔室，管道与腔室的连接处有密封机构。

5.根据权利要求4所述的一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，所述分子泵前级泵通过管道连接沉积物料蒸发单元的腔室，管道与沉积物料蒸发单元腔室的连接处有密封机构。

6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，所述冷凝泵位于电子束蒸发镀膜设备的工件装载单元后方。

7.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜设备的真空系统，其特征在于，所述工件装载单元和沉积物料蒸发单元为独立密封的腔室结构，可分别独立打开或关闭，所述工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间通过隔离阀连接，隔离阀打开时，工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间连通，隔离阀关闭后，工件装载单元和沉积物料蒸发单元之间封闭。