[实用新型]液相滴定反向掺杂装置及单晶炉

权利要求书

1.液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，包括：

掺杂埚，连接于炉体的内壁上、且位于导流筒与炉体之间，用于容纳反向掺杂剂；

送料管，连通于所述掺杂埚的底部，且向下延伸至坩埚内，用于向所述坩埚内供送所述反向掺杂剂，所述送料管上设有控制阀门；

加热元件，设置于所述掺杂埚的周壁上，用于加热所述反向掺杂剂。

2.如权利要求1所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，液相滴定反向掺杂装置还包括水平贯穿所述炉体的侧壁以及保温层的承托杆，所述承托杆的内端设有用于承托所述掺杂埚的托盘，所述托盘具有开口向上、以容纳所述掺杂埚的容置腔。

3.如权利要求2所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述承托杆的内外两端分别设有外螺纹，所述承托杆的内端螺纹连接有抵接于所述保温层上的第一螺母，所述承托杆的外端螺纹连接有抵接于所述炉体外壁上的第二螺母；所述第一螺母与所述炉体的内壁之间设有第一密封圈，所述第二螺母与所述炉体的外壁之间设有第二密封圈，所述第一密封圈和所述第二密封圈分别套设于所述承托杆的外周。

4.如权利要求2所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述加热元件连接有延伸至所述炉体外部、且与电源相连的导线，所述导线沿所述承托杆的轴向贯穿所述承托杆设置。

5.如权利要求2所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述掺杂埚包括：

炭炭坩埚，设置于所述托盘的容置腔内，所述加热元件绕设于所述炭炭坩埚的周壁上；

石英坩埚，衬设于所述炭炭坩埚的内壁上，所述送料管贯穿所述炭炭坩埚以及所述石英坩埚的底壁向上延伸至与所述石英坩埚的内部连通，所述送料管用于自所述石英坩埚向所述坩埚内输送所述反向掺杂剂。

6.如权利要求1-5中任一项所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述控制阀门包括：

阀门板，转动连接于所述送料管上，用于导通或断开所述送料管；

传动杆，贯穿所述炉体的侧壁设置，所述传动杆的内端与所述阀门板相连、外端连接有旋转驱动件，所述传动杆能够在所述旋转驱动件的驱动作用下带动所述阀门板旋转以导通或断开所述送料管。

7.如权利要求6所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述传动杆沿所述掺杂埚的径向水平向外延伸，所述炉体的外壁上设有用于承托所述旋转驱动件的承托台。

8.如权利要求7所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述炉体上设有供所述传动杆穿过的通过孔，所述通过孔内设有供所述传动杆穿过的轴承，所述通过孔内还设有于能够套设于所述传动杆外周的第三密封圈，所述第三密封圈与所述轴承相邻设置、且位于所述轴承的外侧。

9.如权利要求6所述的液相滴定反向掺杂装置，其特征在于，所述液相滴定反向掺杂装置还包括控制器，所述控制器与所述旋转驱动件电连接，用于向所述旋转驱动件发送旋转控制指令。

10.单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括：

炉体，内周壁上设有保温层；

坩埚，设置于所述炉体内、且底部设有延伸至所述炉体下方的埚杆；

加热器，设置于所述炉体内，且套设于所述坩埚的外周；

导流筒，设置于所述炉体内，且位于所述坩埚的上方；以及

如权利要求1-9中任一项所述的液相滴定反向掺杂装置。