[实用新型]脊波导结构及激光器

权利要求书

1.一种脊波导结构，用于在激光器中限制并形成激光横向光场模式以及引导模式传播，其特征在于，包括：沿第一方向依次连接的第一直波导、扩展直波导、第二直波导、锥形波导以及第三直波导；

所述扩展直波导设置在靠近所述激光器的反射腔面的一端，所述扩展直波导沿第二方向的尺寸大于所述第一直波导和第二直波导沿第二方向的尺寸，所述第三直波导沿第二方向的尺寸大于所述第二直波导沿第二方向的尺寸、且小于所述扩展直波导沿第二方向的尺寸；

其中，第一方向为所述激光器的腔长方向，第二方向为所述激光器的腔宽方向。

2.根据权利要求1所述的脊波导结构，其特征在于，所述第一直波导与所述第三直波导沿第二方向的尺寸相等。

3.根据权利要求1或2所述的脊波导结构，其特征在于，所述扩展直波导沿第二方向的尺寸大于5μm，所述扩展直波导沿第一方向的尺寸为5μm～50μm。

4.根据权利要求1或2所述的脊波导结构，其特征在于，所述第一直波导沿第二方向的尺寸为3μm～10μm，所述第一直波导沿第一方向的尺寸大于5μm，且小于激光器腔长的30％。

5.根据权利要求1或2所述的脊波导结构，其特征在于，所述第二直波导沿第二方向的尺寸为1μm～5μm，所述第二直波导沿第一方向的尺寸占激光器腔长的10％～60％。

6.根据权利要求1或2所述的脊波导结构，其特征在于，所述第三直波导沿第二方向的尺寸为3μm～10μm，所述第三直波导沿第一方向的尺寸占激光器腔长的20％～60％。

7.根据权利要求1所述的脊波导结构，其特征在于，所述扩展直波导所在的区域设置有隔离槽，所述隔离槽沿第二方向的尺寸大于所述第一直波导以及第二直波导沿第二方向的尺寸。

8.根据权利要求7所述的脊波导结构，其特征在于，所述第一直波导、扩展直波导、第二直波导、锥形波导以及第三直波导均包括层叠设置的第一半导体包层和欧姆接触层，所述隔离槽将所述欧姆接触层隔断并延伸至所述第一半导体包层。

9.根据权利要求7所述的脊波导结构，其特征在于，所述第一直波导、扩展直波导、第二直波导、锥形波导以及第三直波导均包括层叠设置的第一半导体波导层、第一半导体包层和欧姆接触层，所述隔离槽将所述欧姆接触层隔断并延伸至所述第一半导体波导层。

10.一种激光器，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的脊波导结构。