[实用新型]阀件及腔室系统

说明书

本申请涉及半导体制造设备技术领域，本申请实施例提供了一种阀件及腔室系统。上述阀件及腔室系统中，该阀件至少包括阀座、移动件、弹性件以及驱动装置，阀座内设有调节腔，移动件可移动地设于调节腔内。通过在沿第一方向上将调节腔构造为横截面面积减小的腔体，使得可以通过驱动装置驱动移动件实现对于流体流量的调节，进而调节系统内的压力。通过设置弹性件，使得移动件能够在弹性件的弹性作用力的作用下直接封堵流体入口，可以实现对于流体的隔离，进而避免系统被污染。如此，使得该阀件既可以封堵流体入口，又可以调节流体流量，能够同时实现封堵和调节的功能，从而避免了占用过多空间，提高了系统的可靠性。

技术领域

本申请涉及半导体制造设备技术领域，特别是涉及一种阀件及腔室系统。

背景技术

相关技术中，利用沉积气体在腔室内的衬底表面上形成所需要的薄膜时，会通过设置蝶阀来控制腔室内的压力，以及通过设置隔离阀来避免腔室被污染。由于蝶阀和隔离阀的设置，会使用到更多的线路而导致占用系统较大的空间，从而使得系统内其他活动部件的运动空间也受限，容易产生部件之间的干涉而影响系统的可靠性。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种阀件及腔室系统，以避免占用过多空间，提高系统的可靠性。

根据本申请的一个方面，本申请实施例提供了一种阀件，包括：

阀座，所述阀座具有调节腔，以及分别与所述调节腔相连通的流体入口和流体出口；沿第一方向，所述调节腔的横截面面积逐渐减小；

移动件，可移动地穿入所述调节腔内；所述移动件被配置为能够沿所述第一方向朝向或远离所述流体入口移动，以封堵或敞开所述流体入口；

弹性件，所述弹性件连接于所述调节腔的内壁与所述移动件之间，用于提供使所述移动件具有朝向所述流体入口移动趋势的弹力；以及

驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述移动件沿所述第一方向作往复运动；

其中，所述驱动装置具有第一状态和第二状态；

所述驱动装置处于所述第一状态，所述驱动装置停止向所述移动件输出动力，所述移动件能够在所述弹性件作用下朝向所述流体入口移动，以封堵所述流体入口；

所述驱动装置处于所述第二状态，所述移动件能够在所述驱动装置驱动下朝向或远离所述流体入口移动。

在其中一个实施例中，所述阀座包括沿所述第一方向彼此间隔且相对设置的第一壁、第二壁，以及连接所述第一壁和所述第二壁的第三壁；

所述第一壁、所述第二壁和所述第三壁围合限定出所述调节腔；

其中，所述第一壁上设有所述流体入口，所述第三壁上设有所述流体出口，所述第二壁上设有连通所述调节腔的通孔；

所述移动件经由所述通孔伸入所述调节腔内。

在其中一个实施例中，所述第三壁的内壁上设有导流面；

所述导流面构造为用以引导流体从所述流体入口流向所述流体出口。

在其中一个实施例中，所述导流面具有连接所述第一壁的第一边缘和对应于所述流体出口的第二边缘；

定义垂直于所述第一方向的平面为参考面；

所述第一边缘在所述参考面上的正投影，覆盖所述流体入口在所述参考面上的正投影且位于所述第二边缘在所述参考面上的正投影内；和/或，所述第二边缘在所述参考面上的正投影与所述第二壁在所述参考面上的正投影重合。

在其中一个实施例中，沿所述第一方向，所述导流面构造为相对所述第一方向倾斜设置，以使所述调节腔的横截面面积逐渐减小。

在其中一个实施例中，所述导流面从所述第一边缘向所述第二边缘平滑过渡。