[实用新型]一种采用陶瓷腔体的等离子源

权利要求书

1.一种采用陶瓷腔体的等离子源，包括有整流滤波稳压模块(1)、辅助电源(2)、高频逆变模块(3)、第一主控板(4)、功率合成模块(5)、功率输出及检测电路(6)、第二主控板(7)和点火板(8)组成，所述整流滤波稳压模块(1)及辅助电源(2)分别连接交流电的输出端，且整流滤波稳压模块(1)的输出端连接有高频逆变模块(3)，所述辅助电源(2)的输出端分别连接高频逆变模块(3)和第一主控板(4)，且高频逆变模块(3)的输出端分别连接有功率合成模块(5)和第一主控板(4)，所述功率合成模块(5)的输出端连接有功率输出及检测电路(6)，且功率输出及检测电路(6)电性连接有第一主控板(4)，所述第一主控板(4)连接有第二主控板(7)，且第二主控板(7)连接有点火板(8)，其特征在于：还包括采用陶瓷材质的腔体(9)；

所述腔体(9)的内部包括有绝缘阻隔腔(901)、进气管(902)和出气管(903)，且点火板(8)连接有腔体(9)，且腔体(9)电性连接有第二主控板(7)；

所述腔体(9)的外壁设置有绝缘阻隔板(904)，且绝缘阻隔板(904)的上端连接有上槽口(905)，所述绝缘阻隔板(904)的下端安装有下槽口(906)，且绝缘阻隔板(904)的外壁连接有壳体(907)，所述壳体(907)的表面卡接有安装板(908)，且壳体(907)的表面连接有点火线圈(909)。

2.根据权利要求1所述的一种采用陶瓷腔体的等离子源，其特征在于，所述腔体(9)通过点火线圈(909)与点火板(8)相连接，且腔体(9)通过电性反馈信号给第二主控板(7)。

3.根据权利要求1所述的一种采用陶瓷腔体的等离子源，其特征在于，所述腔体(9)的绝缘阻隔腔(901)内壁覆盖三氧化二钇膜、氧化铝膜、二氧化硅膜或氮化铝膜。

4.根据权利要求3所述的一种采用陶瓷腔体的等离子源，其特征在于，所述腔体(9)整体采用三氧化二钇陶瓷材质。

5.根据权利要求4所述的一种采用陶瓷腔体的等离子源，其特征在于，所述腔体(9)的上端为进气管(902)，且腔体(9)的下端为出气管(903)。

6.根据权利要求1所述的一种采用陶瓷腔体的等离子源，其特征在于，所述绝缘阻隔腔(901)在绝缘阻隔板(904)的内壁设置，且进气管(902)与上槽口(905)相对应，并且出气管(903)与下槽口(906)相对应。

7.根据权利要求1所述的一种采用陶瓷腔体的等离子源，其特征在于，所述绝缘阻隔板(904)在壳体(907)的轴心处设置，所述安装板(908)在壳体(907)的外壁呈“X”型结构。