[实用新型]密封性测试装置及密封性测试系统

权利要求书

1.一种密封性测试装置，其特征在于，所述密封性测试装置包括：

测试组件，所述测试组件为两个以上，所述测试组件包括测试箱、取样阀、第一真空阀及第一载气阀，所述取样阀、所述第一真空阀及所述第一载气阀分别连通于所述测试箱，所述测试箱用于放置被测工件，所述第一载气阀用于与载气设备连通，所述第一真空阀用于与真空泵连通；

分析模块，两个以上所述取样阀分别与所述分析模块连通，所述分析模块用于对被测物质进行分析检测。

2.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述测试组件还包括第一分压件与第一分压阀，所述第一分压阀连通于所述第一载气阀与所述测试箱之间，所述第一分压件连通于所述第一载气阀与所述分压阀之间，所述分压件用于定量控制载气和调整所述测试箱的压力。

3.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述测试组件还包括第一控制阀，所述第一控制阀连通于所述第一载气阀与所述测试箱之间，所述第一控制阀用于调节流过气体的流量。

4.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述分析模块包括前级取样组件、后级取样组件及分析组件，两个以上所述取样阀分别与所述前级取样组件连通，所述前级取样组件通过所述后级取样组件与分析组件连通。

5.根据权利要求4所述的密封性测试装置，其特征在于，所述前级取样组件包括前级腔体、第二载气阀、第二真空阀及第二控制阀，两个以上所述取样阀分别与所述前级腔体连通，所述第二载气阀及所述第二真空阀分别与所述前级腔体连通，所述第二载气阀用于与载气设备连通，所述第二真空阀用于与真空泵连通，所述前级腔体通过所述第二控制阀与所述后级取样组件连通，所述第二控制阀用于控制流经气体的流量。

6.根据权利要求5所述的密封性测试装置，其特征在于，所述前级取样组件还包括第三控制阀，所述第三控制阀连通于所述第二载气阀与所述前级腔体之间，所述第三控制阀用于控制流经气体的流量。

7.根据权利要求5所述的密封性测试装置，其特征在于，所述后级取样组件包括后级腔体与第三真空阀，所述后级腔体与所述第二控制阀连通，所述第三真空阀与所述后级腔体连通，所述第三真空阀用于与真空泵连通。

8.根据权利要求7所述的密封性测试装置，其特征在于，所述后级组件还包括标样和标样阀，所述标样通过标样阀与所述后级腔体连通。

9.根据权利要求7所述的密封性测试装置，其特征在于，所述分析组件包括取样微管、质谱腔、真空泵组及分析仪，所述质谱腔通过所述取样微管与所述后级腔体连通，所述分析仪伸入所述质谱腔内对被测物质进行分析检测。

10.一种密封性检测系统，其特征在于，所述密封性检测系统包括载气设备、真空泵及权利要求1-9中任意一项所述的密封性检测装置，所述载气设备与所述第一载气阀连通，所述真空泵与第一真空阀连通。