[实用新型]磁电天线的层合结构有效
| 申请号： | 202221635163.3 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN217719955U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 李娜;李向阳;刘国;徐博楠;张静柯;饶鑫;赵驰;单玉玉 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01Q1/38 | 分类号： | H01Q1/38 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王奇 |
| 地址： | 710071 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁电 天线 结构 | ||
【权利要求书】：
1.磁电天线的层合结构，其特征在于，包括Si衬底(4)，所述Si衬底(4)上从下往上依次设置有Mo电极层(3)、AIN压电层(2)和FeGa磁致伸缩层(1)，所述Si衬底(4)与Mo电极层(3)接触面之间开有空气槽。
2.根据权利要求1所述的磁电天线的层合结构，其特征在于，所述空气槽呈倒梯形。
3.根据权利要求1或2所述的磁电天线的层合结构，其特征在于，所述AIN压电层(2)的厚度为1.85um。
4.根据权利要求1或2所述的磁电天线的层合结构，其特征在于，所述Mo电极层(3)厚度为0.16um。
5.根据权利要求4所述的磁电天线的层合结构，其特征在于，所述Mo电极层(3)为650um×650um的立方体结构。
6.根据权利要求1或2所述的磁电天线的层合结构，其特征在于，所述FeGa磁致伸缩层(1)的厚度为1.85um。
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