[实用新型]晶圆搬运机械手

权利要求书

1.一种晶圆搬运机械手，其特征在于：包括升降组件、设于所述升降组件上的旋转组件和机械手组件；

所述升降组件包括升降轴和用于驱动所述升降轴实现升降动作的升降驱动装置；所述旋转组件用于驱动所述升降轴旋转；

所述机械手组件包括机械手驱动装置、第一手臂、第二手臂和手指组件；所述手指组件包括手指固定座、设于所述手指固定座上的翻转装置、以及与所述翻转装置驱动端固定连接的手指；所述第一手臂与所述机械手驱动装置之间设置有第一关节，所述第二手臂与所述第一手臂之间设置有第二关节，所述第二手臂与所述手指组件之间设置有第三关节；所述机械手驱动装置驱动第一手臂，第一手臂带动第二手臂伸展使所述手指固定座呈直线运动。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述第一手臂包括第一固定板、分别设于所述第一固定板上的第一主动轮组件、第一从动轮组件、第一同步带和第一关节轴；所述第一关节轴与所述机械手驱动装置的驱动端固定连接；所述主动轮组件套设于所述第一关节轴上；所述从动轮组件设于所述第一固定板与所述主动轮组件相对的另一端；所述第一同步带套设于所述主动轮组件和从动轮组件上；所述第一关节轴设于所述第一关节内。

3.根据权利要求2所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述第一主动轮和第一从动轮之间的传动比为1：2。

4.根据权利要求2所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述第二手臂包括第二固定板、分别设于所述第二固定板上的第二主动轮组件、第二从动轮组件、第二同步带、第二关节轴和第三关节轴；所述第二关节轴的第一端穿设于所述第一从动轮组件中、所述第二关节轴的第二端穿设于所述第二主动轮组件中；所述第三关节轴穿设于所述第二从动轮组件中。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述第二主动轮和第二从动轮之间的传动比为2：1。

6.根据权利要求4所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述第一手臂还包括设置在所述第一固定板上的第一同步带张紧装置；所述第二手臂还包括设置在所述第二固定板上的第二同步带张紧装置。

7.根据权利要求1所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述手指为真空吸盘。

8.根据权利要求1所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述升降驱动装置包括升降电机和丝杆组件，所述丝杆组件包括丝杆和设于所述丝杆上的丝杆螺母；所述丝杆螺母与所述旋转组件固定连接。

9.根据权利要求1所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述晶圆搬运机械手还包括固定架组件，所述升降组件、旋转组件和机械手组件均固定于所述固定架组件上。

10.根据权利要求9所述的晶圆搬运机械手，其特征在于：所述固定架组件上设有导向装置，所述导向装置用于为升降组件进行导向。