[实用新型]一种磁悬浮真空泵

权利要求书

1.一种磁悬浮真空泵，其特征在于：包括机柜（1）、永磁同步电机（2）、叶轮（3）、叶轮盖（4）、蜗壳（5）、位移传感器（6）、变频器（7）、控制系统（8）、磁轴承控制器（9）、进气管（10）和出气管（11）；

所述永磁同步电机（2）安装在机柜（1）内部，包括磁轴承线圈（21）、转子（22）和定子（23）；所述转子（22）与所述叶轮（3）驱动连接；所述蜗壳（5）安装在所述永磁同步电机（2）上，所述叶轮盖（4）安装在所述蜗壳（5）上；

所述位移传感器（6）支撑安装于所述转子（22）两端，所述变频器（7）、所述磁轴承控制器（9）和控制系统（8）安装在所述机柜（1）内部；

所述位移传感器（6）与所述磁轴承控制器（9）通信连接；所述磁轴承控制器（9）与所述变频器（7）、所述磁轴承线圈（21）通信连接；所述变频器（7）与所述定子（23）通信连接；

所述控制系统（8）与所述变频器（7）、磁轴承控制器（9）通信连接；

所述变频器（7）、磁轴承控制器（9）外接电源；

所述进气管（10）安装在所述机柜（1）的一面上，其输出端与所述叶轮（3）相对，其输入端连接真空工艺点；所述出气管（11）安装在所述机柜（1）的另一面，其输入端与所述蜗壳（5）的导出气腔相对，其输出端与外界连通。

2.根据权利要求1所述的一种磁悬浮真空泵，其特征在于：所述进气管（10）的输入端和真空工艺点之间设有篮式过滤器（12），包括盖板（121）和压杆（122），所述盖板（121）通过所述压杆（122）固定在所述篮式过滤器（12）上，所述盖板（121）为透明材质。

3.根据权利要求1所述的一种磁悬浮真空泵，其特征在于：所述永磁同步电机（2）还设有散热系统（13），包括散热叶轮（131）、散热管道（132）、抱箍（133）、机柜门（134）、滤网（135）和散热排气口（136）；

所述散热叶轮（131）与所述永磁同步电机（2）的尾部驱动连接，所述散热管道（132）安装于所述永磁同步电机（2）上，所述散热管道（132）通过所述抱箍（133）与所述机柜门（134）相连；所述滤网（135）安装在所述机柜门（134）上，且与所述散热管道（132）相对，所述散热排气口（136）设于所述永磁同步电机（2）的下部，并与所述散热管道（132）相连通。

4.根据权利要求1所述的一种磁悬浮真空泵，其特征在于：所述机柜（1）的柜顶处还设有风扇（101）；所述机柜（1）的上方设有防雨帽（102），所述防雨帽（102）罩在所述风扇（101）的上方。

5.根据权利要求1所述的一种磁悬浮真空泵，其特征在于：所述控制系统（8）为PLC控制系统。

6.根据权利要求1所述的一种磁悬浮真空泵，其特征在于：所述叶轮（3）为三元流离心叶轮。