[实用新型]籽晶夹持装置和单晶炉

说明书

本实用新型提供一种籽晶夹持装置和单晶炉。籽晶夹持装置包括外夹持组件和内夹持组件，所述外夹持组件上开设有容纳腔，所述内夹持组件的外部轮廓与所述容纳腔的内部轮廓相匹配，所述内夹持组件可拆卸的设置于所述容纳腔内，所述内夹持组件包括用于固定籽晶的固定部，所述固定部由所述容纳腔内部延伸至所述外夹持组件的外表面。在本实用新型实施例，通过设置外夹持组件和内夹持组件，实施时，可以针对不同的籽晶使用不同的内夹持组件固定籽晶，然后将夹持有籽晶的内夹持组件固定在外夹持组件上，以实现将籽晶固定在籽晶夹具上，这样，本实施例能提高对于籽晶固定的便利性。

技术领域

本实用新型实施例涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种籽晶夹持装置和单晶炉。

背景技术

硅棒生产过程中，包括在单晶炉中利用籽晶进行拉晶的步骤，一般来说，籽晶通过夹具固定，以完成拉晶操作。实际生产过程中，通常需要根据不同的生产需求，使用具有不同规格的籽晶，这导致对于籽晶的固定较为不便。

发明内容

本实用新型实施例提供一种籽晶夹持装置和单晶炉。

为解决上述问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种籽晶夹持装置，包括外夹持组件和内夹持组件，所述外夹持组件上开设有容纳腔，所述内夹持组件的外部轮廓与所述容纳腔的内部轮廓相匹配，所述内夹持组件可拆卸的设置于所述容纳腔内，所述内夹持组件包括用于固定籽晶的固定部，所述固定部由所述容纳腔内部延伸至所述外夹持组件的外表面。

在一些实施例中，所述内夹持组件的数量为多个，所述内夹持组件的固定部分别与不同类型的籽晶匹配。

在一些实施例中，所述容纳腔沿由所述外夹持组件的顶部到所述外夹持组件的底部的方向延伸，所述固定部由所述外夹持组件的底部延伸至所述容纳腔的外表面。

在一些实施例中，沿由所述外夹持组件的顶部到所述外夹持组件的底部的方向上，至少部分所述容纳腔的横截面积减小。

在一些实施例中，所述容纳腔的内壁上开设有多个贯穿所述外夹持组件表面的散热孔。

在一些实施例中，所述内夹持组件包括多个相互拼接而成的拼接部，各所述拼接部沿着环绕所述容纳腔的方向相互拼接。

在一些实施例中，所述内夹持组件的固定部包括限位部和延伸部，所述限位部位于所述延伸部靠近所述外夹持组件的顶部的一侧，且至少部分所述限位部的截面尺寸大于所述延伸部的截面尺寸。

第二方面，本实用新型提供了一种单晶炉，包括以上任一项所述的籽晶夹持装置。

在本实用新型实施例，通过设置外夹持组件和内夹持组件，实施时，可以针对不同的籽晶使用不同的内夹持组件固定籽晶，然后将夹持有籽晶的内夹持组件固定在外夹持组件上，以实现将籽晶固定在籽晶夹具上，这样，本实施例能提高对于籽晶固定的便利性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的籽晶夹持装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的籽晶夹持装置的又一结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的外夹持组件的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的内夹持组件的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的不同结构的内夹持组件的结构示意图。

具体实施方式