[实用新型]一种方便取放的晶圆盒超声清洗机

权利要求书

1.一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，包括存储盒(1)，其特征在于：所述存储盒(1)顶部设有盛放机构；

所述盛放机构包括两个连接块(5)，两个所述连接块(5)均设于存储盒(1)内部，两个所述连接块(5)之间固定连接有多个支撑台(6)，多个所述支撑台(6)顶部设有晶圆本体(7)，两个所述连接块(5)内部均开设有空腔(21)，所述空腔(21)内部设有限位组件，所述限位组件包括齿板(23)，所述齿板(23)设于空腔(21)内部，所述齿板(23)一侧设有多个连接轴(27)，多个所述连接轴(27)两端均与空腔(21)侧壁通过轴承连接，多个所述连接轴(27)外部均固定套设有齿轮(26)，多个所述齿轮(26)均与齿板(23)相啮合，多个所述齿轮(26)一侧均固定连接有连接滑板(14)，所述连接块(5)一侧开设有多个滑槽(10)，多个所述连接滑板(14)分别贯穿多个所述滑槽(10)，多个所述连接滑板(14)一端固定连接有压板(9)，所述压板(9)与晶圆本体(7)相接触。

2.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述空腔(21)侧壁开设有两个滑动槽(25)，两个所述滑动槽(25)内部均设有滑动块(24)，两个所述滑动块(24)均与齿板(23)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述连接块(5)顶部设有旋钮(11)，所述旋钮(11)一端固定连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)延伸入空腔(21)内部并与连接块(5)顶部相接触，所述螺纹杆(22)延伸入齿板(23)内部并与齿板(23)侧壁通过螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述存储盒(1)两侧壁均开设有通槽(13)，两个所述通槽(13)内部均固定设有电机(20)，两个所述电机(20)输出端固定连接有丝杆(17)，两个所述丝杆(17)顶端与通槽(13)顶部通过轴承连接，两个所述丝杆(17)外部均通过螺纹连接有螺纹块(16)。

5.根据权利要求4所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：两个所述螺纹块(16)顶部均固定连接有连接卡套(15)，两个所述连接卡套(15)一侧均固定连接有连接壳(19)，两个所述连接壳(19)一侧均设有拉环(29)，两个所述拉环(29)一侧均固定连接有插杆(30)，两个所述插杆(30)延伸入连接壳(19)内部，两个所述插杆(30)分别贯穿两个所述连接卡套(15)。

6.根据权利要求5所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述插杆(30)外部套设有弹簧(28)，所述弹簧(28)设于连接壳(19)内部，所述插杆(30)外部固定套设有垫板(31)。

7.根据权利要求6所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：两个所述连接块(5)一侧均固定连接有连接板(8)，两个所述连接板(8)一侧均固定连接有卡板(12)，两个所述卡板(12)分别与两个所述连接卡套(15)相扣合，两个所述插杆(30)分别与两个所述卡板(12)相扣合。

8.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述存储盒(1)内部固定嵌设有超声发生器(18)，所述存储盒(1)底部四角均固定连接有支撑腿(4)。

9.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述存储盒(1)一侧设有盒盖(2)，所述存储盒(1)与盒盖(2)合页连接。

10.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述存储盒(1)一侧固定连接有排水管(3)。