[实用新型]一种LED芯片光刻版放置装置有效
申请号: | 202221704895.3 | 申请日: | 2022-07-04 |
公开(公告)号: | CN218003920U | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 黄章挺 | 申请(专利权)人: | 福建兆元光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 柯玉珊 |
地址: | 350109 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 芯片 光刻 放置 装置 | ||
1.一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,包括壳体、机械臂和控制面板;
所述壳体的一侧为开口,所述壳体内与所述开口相对的一侧设置有多个放置槽,所述放置槽朝向所述壳体外侧的一面可开合,所述放置槽用于放置光刻版;
所述控制面板设置在所述壳体外与所述开口相邻的一侧,所述机械臂安装在所述壳体内,且所述机械臂和所述放置槽均与所述控制面板控制连接。
2.根据权利要求1所述的一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,所述壳体外与所述开口相邻的一侧还开设有一窗口;
所述窗口靠近所述壳体底部的一边朝向所述壳体内部水平延伸有一承接台,所述承接台用于放置待所述机械臂抓取的光刻版。
3.根据权利要求2所述的一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,所述承接台处内置有扫码枪,且所述扫码枪与所述控制面板控制连接。
4.根据权利要求2所述的一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,所述控制面板与所述窗口分别位于所述壳体外的相对两侧,且所述控制面板上内置有扫码口。
5.根据权利要求1所述的一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,所述机械臂包括水平导轨、第一轴承、竖直导轨、第二轴承、机械轴和机械抓手;
所述水平导轨横向安装在所述壳体内靠近顶部的位置,且水平导轨的两端分别与所述壳体上与所述开口相邻的两侧连接;
所述第一轴承包括滑动部和旋转部,所述滑动部滑动连接在所述水平导轨上,所述旋转部可水平旋转连接在所述滑动部下方,且所述第一轴承与所述控制面板控制连接;
所述竖直导轨垂直于地面且所述竖直导轨的一端与所述旋转部连接,可在所述旋转部的带动下水平旋转,所述竖直导轨的另一端设置有第二轴承,所述第二轴承可垂直旋转安装在所述竖直导轨上,且所述第二轴承与所述控制面板控制连接;
所述机械轴的一端连接于所述第二轴承,可在所述第二轴承的带动下竖直旋转,所述机械轴远离所述第二轴承的一端与所述机械抓手连接,所述机械抓手与所述控制面板控制连接,用于将待放置的光刻版抓起放置在对应的所述放置槽处。
6.根据权利要求5所述的一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,所述机械臂还包括电机;
所述电机设置在所述水平导轨的一端,并与所述第一轴承、所述第二轴承和所述机械抓手驱动连接,与所述控制面板控制连接。
7.根据权利要求1所述的一种LED芯片光刻版放置装置,其特征在于,所述控制面板上设置有按键。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备