[实用新型]一种真空镀膜设备用起弧点火机构有效
| 申请号： | 202221708293.5 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN217839110U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 吴宜生 | 申请（专利权）人： | 广东腾通镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省广州市天河区东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 点火 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜设备用起弧点火机构，其特征在于：包括本体，所述本体为台阶式回转轴结构，所述本体设有用于密封的沟槽，所述本体大圆轴一端设有台阶面，所述本体一端小圆轴上设有键槽，所述本体一端小圆轴上设有用于安装轴用挡圈的卡槽，所述本体另一端小圆轴上设有正方形轴头，所述正方形轴头一面上设有沉孔，所述本体设有螺纹轴，所述螺纹轴圆周外表面上设有平面。
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