[实用新型]流量控制装置

说明书

本实用新型提供一种流量控制装置，包括流动块、驱动组件和活塞，流动块内部设置有流体通路，驱动组件用于驱动活塞进入或离开流体通路，以改变流体通路的流通截面积，驱动组件包括支架、驱动机构、转接机构、弹性连接件和至少一个导杆，驱动机构和导杆固定设置在支架上；转接机构活动设置在导杆上，且转接机构通过弹性连接件与活塞连接；驱动机构用于驱动转接机构沿导杆运动，以使转接机构通过弹性连接件带动活塞进入或离开流体通路。本实用新型中利用导杆结构对弹性连接件及活塞进行导向，提高了活塞运动方向的稳定性，进而提高了流量控制装置控制流体流量的精确性及稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种流量控制装置。

背景技术

非封闭空间内的压力往往很容易随着外界的压力改变而改变。这对某些对压力环境要求较高的产品往往很不友好，例如药物研发验室和高洁净度的生物医疗实验室等医药研究环境都需要形成一个稳定的负压，来保证病毒不会外泄并影响到人员的生命安全。芯片的生产也需要一个恒定的不被外界影响的压力环境，从而减少生产芯片时因外界环境压力的改变带来的缺陷。因此，在现代化的很多工业领域，例如半导体工艺领域中，往往需要一个环境压力相对稳定的空间。

为稳定控制封闭空间内的压力，通常需要在该封闭空间的进气或排气处设置流量控制装置，并响应于空间内的压力变化情况实时调整进气或排气流量。

如图1所示为一种现有的流量控制装置的结构示意图，该流量控制装置包括电机1a、支架2a、电机次级3a、弹簧4a、活塞5a。该流量控制装置的气体调节过程主要为：电机1a通电，电机次级3a开始沿着轴线方向做直线运动，并带动弹簧4a做直线运动，活塞5a受到弹簧4a的拉力也随之做直线运动。随着活塞5a的上下直线运动，气体在通道中流动的过气气隙也将发生改变，进而实现改变气体流量。

然而，现有的流量控制装置常出现精度下降的问题。因此，如何提供一种能够保证流量控制精度的流量控制装置，成为本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种流量控制装置，该流量控制装置的流量控制精度高、稳定性好。

为实现上述目的，本实用新型提供一种流量控制装置，包括流动块、驱动组件和活塞，所述流动块内部设置有流体通路，所述驱动组件用于驱动所述活塞进入或离开所述流体通路，以改变所述流体通路的流通截面积，所述驱动组件包括支架、驱动机构、转接机构、弹性连接件和至少一个导杆，所述驱动机构和所述导杆固定设置在所述支架上；所述转接机构活动设置在所述导杆上，且所述转接机构通过所述弹性连接件与所述活塞连接；所述驱动机构用于驱动所述转接机构沿所述导杆运动，以使所述转接机构通过所述弹性连接件带动所述活塞进入或离开所述流体通路。

可选地，所述驱动机构包括旋转电机和螺纹配合件，所述螺纹配合件具有配合外螺纹，所述转接机构具有配合螺纹孔，所述螺纹配合件与所述转接机构通过所述配合外螺纹与所述配合螺纹孔的内螺纹配合连接，所述旋转电机用于驱动所述螺纹配合件旋转，以通过所述螺纹配合件的配合外螺纹与所述配合螺纹孔的内螺纹之间的配合作用，驱动所述转接机构沿所述导杆运动。

可选地，所述驱动组件包括一对所述导杆；所述转接机构包括转接件和一对直线轴承，所述转接件包括连接部和与所述连接部固定连接的两个导向部，所述连接部的顶部形成有所述配合螺纹孔，所述连接部的底部用于与所述弹性连接件连接；两个所述导向部中均形成有沿竖直方向贯穿所述导向部的导向孔，且两个所述导向孔分别位于所述配合螺纹孔的两侧，两个所述直线轴承分别固定设置在两个所述导向孔中，两个所述导杆一一对应地插入至两个所述直线轴承中。

可选地，所述螺纹配合件包括同轴且相互连接的连接筒和配合柱，所述连接筒在背离所述配合柱的一侧具有与所述连接筒同轴的连接孔，所述旋转电机的输出轴插入并固定设置在所述连接孔中，所述配合柱上形成有所述配合外螺纹。