[实用新型]一种磁性过滤弯管机构及镀膜设备

权利要求书

1.一种磁性过滤弯管机构，其特征在于，包括S形真空弯管组件(1)、圈设于S形真空弯管组件(1)外壁的电磁线圈和设置于所述S形真空弯管组件(1)一端的阴极弧靶组件，所述阴极弧靶组件包括用于固定靶材的固定组件(2)和用于驱使所述靶材产生弧斑的引弧组件(3)；所述靶材产生弧斑时会向所述S形真空弯管组件(1)的另一端发出溅射原子；

所述S形真空弯管组件(1)包括第一直管(11)、第二直管(12)和S形弯管(13)，所述S形弯管(13)的两端分别连接所述第一直管(11)和所述第二直管(12)，所述第一直管(11)平行于所述第二直管(12)，且所述第一直管(11)的内孔和所述第二直管(12)的内孔在沿平行于所述第一直管(11)中心线的方向上不重叠。

2.根据权利要求1所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述第一直管(11)远离所述S形弯管(13)的一端设置有安装板(4)，所述引弧组件(3)和所述固定组件(2)均安装于所述安装板(4)上；

所述第二直管(12)的内管壁上设置有过滤组件(5)，所述过滤组件(5)包括沿所述第二直管(12)中心线的方向间隔设置的若干个环形挡板(51)。

3.根据权利要求1所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述S形弯管(13)内设置有平行于所述S形弯管(13)内管壁的水冷腔(131)，所述S形弯管(13)靠近所述第二直管(12)的一端设置有连通所述水冷腔(131)的进水口(132)，所述S形弯管(13)靠近所述第一直管(11)的一端设置有连通所述水冷腔(131)的出水口(133)。

4.根据权利要求1所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述电磁线圈包括圈设于所述第一直管(11)外管壁上的稳弧线圈(61)、圈设于第一直管(11)外管壁上的聚焦线圈(62)和圈设于所述S形弯管(13)外管壁上的过滤线圈(63)和圈设于所述第二直管(12)外管壁上的引出线圈(64)；

所述聚焦线圈(62)设置于所述稳弧线圈(61)和所述过滤线圈(63)之间。

5.根据权利要求4所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述第一直管(11)的内管壁上设置有防污染罩(7)，且所述防污染罩(7)的位置与所述聚焦线圈(62)的位置相对应。

6.根据权利要求5所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述防污染罩(7)靠近所述S形弯管(13)的一端设置有向第一直管(11)的中心线逐渐收拢的环形导向部(71)。

7.根据权利要求2所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述安装板(4)上还设置有用于冷却靶材的液冷装置(8)；

所述固定组件(2)包括固定盘(21)，所述固定盘(21)内形成冷却内腔(22)，所述液冷装置(8)通过进水管道(81)连通所述冷却内腔(22)，通过出水管道(82)排出所述冷却内腔(22)的冷却水，且所述出水管道(82)套设于所述进水管道(81)上。

8.根据权利要求2所述的磁性过滤弯管机构，其特征在于，所述过滤组件(5)包括安装筒(52)，所述安装筒(52)的外筒壁与所述第二直管(12)的内管壁相贴合，所述环形挡板(51)固定于所述安装筒(52)上；

所述安装筒(52)与所述第二直管(12)可拆卸连接。

9.一种镀膜设备，其特征在于，包括真空镀膜腔、用于承载工件的转动架和如权利要求1至8任一项所述的磁性过滤弯管机构；

所述转动架安装于所述真空镀膜腔中，且所述磁性过滤弯管机构的S形真空弯管组件(1)远离所述磁性过滤弯管机构的阴极弧靶组件的一端连通所述真空镀膜腔。