[实用新型]物料转运机构及太阳电池加工装置有效
申请号: | 202221734934.4 | 申请日: | 2022-07-07 |
公开(公告)号: | CN217768326U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 李晨堃;齐文龙 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 章上晓 |
地址: | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物料 转运 机构 太阳电池 加工 装置 | ||
1.一种物料转运机构,其特征在于,包括:
载具,所述载具设有容置区,所述容置区用于容纳从翻转设备释放的硅片;以及
升降驱动组件,所述升降驱动组件与所述载具驱动连接,所述升降驱动组件用于调整所述载具与所述翻转设备的间距。
2.根据权利要求1所述的物料转运机构,其特征在于,所述升降驱动组件包括底板和升降驱动件,所述升降驱动件设置于所述底板上并与所述载具驱动连接。
3.根据权利要求2所述的物料转运机构,其特征在于,所述载具包括载板和支撑板,所述载板设置于所述支撑板上,所述支撑板可分离的设置于所述底板上并与所述升降驱动件驱动连接。
4.根据权利要求3所述的物料转运机构,其特征在于,所述底板凹设有容纳槽,所述支撑板可分离的插置于所述容纳槽内。
5.根据权利要求3所述的物料转运机构,其特征在于,所述物料转运机构还包括导向组件,所述导向组件连接于所述支撑板与所述底板之间。
6.根据权利要求5所述的物料转运机构,其特征在于,所述导向组件包括活动块、第一滑块、滑轨和固定块,所述活动块设置于所述支撑板上且与所述第一滑块连接,所述固定块设置于所述底板上且与所述滑轨连接,所述第一滑块滑动设置于所述滑轨上。
7.根据权利要求3所述的物料转运机构,其特征在于,所述载板设有镂空结构;
所述物料转运机构还包括多个定位体,多个所述定位体围设于所述镂空结构的外周并围成所述容置区,所述定位体设有用于导引所述硅片向所述容置区内摆正的导正部。
8.根据权利要求1所述的物料转运机构,其特征在于,所述物料转运机构还包括垫板、第二滑块和横移驱动组件,所述垫板设置于所述升降驱动组件上,所述第二滑块设置于所述垫板上并与所述横移驱动组件驱动连接。
9.根据权利要求8所述的物料转运机构,其特征在于,所述物料转运机构还包括感应片,所述感应片设置于所述载具上,所述感应片用于与预设在背镀上料端处的感应器感应配合;或者
所述物料转运就还包括感应器,所述感应器设置于所述载具上,所述感应器用于与预设在背镀上料端处的感应片感应匹配。
10.一种太阳电池加工装置,其特征在于,包括如上述权利要求1至9任一项所述的物料转运机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造