[实用新型]一种位移台

说明书

本实用新型提供一种位移台。X向位移台包括主动X向位移台和从动X向位移台，二者对称设于位移台的中心方孔的两侧，主、从动X向位移台对称各设有一滑块，一横梁垂直设于主动X向位移台和从动X向位移台上并将两个滑块相连，主动X向位移台一端设有电机和手轮。Y向位移台设于横梁上，其一端设有电机和手轮。Z向位移台经一连接件垂直固定于Y向位移台的滑块的下方。优点是：X、Y、Z向位移台均具有驱动电机和手轮，可通过电动或手动方式，主动驱动其滑块位移，可操作性强。X、Y、Z向位移台均具有光栅尺，能够精确控制位移量。X向位移台包含两根彼此平行的直线位移台，此结构提升了使本位移台所承载物体的重量上限并且能够保持位移精度。

技术领域

本实用新型涉及自动化组件领域，尤其涉及一种位移台。

背景技术

位移台是一种承载物体并使其发生位置移动的装置，广泛应用于显微镜、3D打印机、自动化测绘等行业。对于位移精度为亚微米级或纳米级的精密位移台，在显微镜、集成电路等领域具有重要应用价值。现有的亚微米级或纳米级的精密位移台，存在以下不足：

1、通常设有一个位移调整结构件，其承载物体的重量通常为百克级别，无法承载更大重量的物体，或者虽可承载更大重量物体，但位移精度将下降，二者不可兼得。

2、仅通过电动操控方式或仅通过手动操控方式实现位移，操控性不足。

所以如何能够提供一种承载重量大于现有位移台且具有电动和手动进行位移操控的亚微米级至纳米级的位移台成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种位移台，用以解决现有技术中位移台承重能力差，操控方式单一的问题。

为了实现上述目的，本实用新型技术方案提供了一种位移台，包括：X向位移台、Y向位移台、Z向位移台、位移台底座。X向位移台包括主动X向位移台和从动X向位移台，二者对称设于所述位移台的中心方孔的两侧，所述X向位移台和所述从动X向位移台上对称各设有一滑块，一横梁垂直设于所述主动X向位移台和所述从动X向位移台上并将两个滑块相连，所述主动X向位移台一端设有电机和手轮。Y向位移台设于所述横梁上，其一端设有电机和手轮。

作为上述技术方案的优选，较佳的，还包括Z向位移台，所述Z向位移台经一连接件垂直固定于所述Y向位移台的滑块的下方。

作为上述技术方案的优选，较佳的，主动X向位移台还设有光栅尺，所述光栅尺贴合设于所述主动X向位移台的滑块的外边测，远离所述中心方孔。

作为上述技术方案的优选，较佳的，从动X向位移台上的滑块被所述横梁带动，随着设于所述主动X向位移台上的滑块的移动而移动。

作为上述技术方案的优选，较佳的，Y向位移台的上表面上设有滑块，所述滑块在滑轨与所述连接件之间，所述连接件的上端面位于所述Y向位移台的滑块之上。

作为上述技术方案的优选，较佳的，Y向位移台的光栅尺与所述Y向位移台的滑块相邻设置，所述Y向位移台靠近所述主动X向位移台的一端设有电机与手轮。

作为上述技术方案的优选，较佳的，Z向位移台上设有滑块，所述滑块旁设有一光栅尺。

作为上述技术方案的优选，较佳的，Z向位移台在靠近所述位移台底座的一端设有电机和手轮。

作为上述技术方案的优选，较佳的，位移台底座上设有防护罩。

本实用新型技术方案提供了一种位移台。X向位移台包括主动X向位移台和从动X向位移台，二者对称设于所述位移台的中心方孔的两侧，所述X向位移台和所述从动X向位移台上对称各设有一滑块，一横梁垂直设于所述主动X向位移台和所述从动X向位移台上并将两个滑块相连，所述主动X向位移台一端设有电机和手轮。Y向位移台设于所述横梁上，其一端设有电机和手轮。Z向位移台经一连接件垂直固定于所述Y向位移台的滑块的下方。