[实用新型]一种硅粉输送密封阀

说明书

本实用新型公开了一种硅粉输送密封阀，包括设有插板的阀体，插板上连接阀杆，阀体上设有密封阀杆和阀体上盖的填料层，于填料层下方的填料腔内设硅粉收集腔，阀杆穿过填料层、硅粉收集腔后插入阀体，阀体内设硅粉沉积腔和密封插板的阀座，插板于阀座内竖向移动，插板一端穿过阀体流道连接阀杆，插板另一端延伸至硅粉沉积腔内。本实用新型通过在现有阀体结构内设计硅粉收集腔和硅粉沉积腔，用于对插板移动过程中泄漏的硅粉进行缓冲和沉积，避免硅粉进入填料层而导致阀门填料密封失效、阀杆卡涩问题，可延长现有插板阀的使用寿命，并提高多晶硅硅粉输送的安全性。

技术领域

本实用新型属于阀门密封技术领域，具体的说，是一种硅粉输送密封阀。

背景技术

多晶硅生产过程中涉及大量采用含硅烷氢气输送硅粉管线的流体切断控制，由于硅粉硬度高，且存在超细硅粉（粒度＜5微米），容易造成管线阀门密封失效，带来阀门内漏、外漏问题，形成生产安全隐患。通常情况下，硅粉输送主要采用高温、高压氢气（氢气含少量氯硅烷），利用压差来输送硅粉。

目前，常用的硅粉输送阀门主要有耐磨盘阀，少量采用耐磨球阀和插板阀，其中，盘阀由于长期密封性能较弱，需要定期进行更换，且盘阀结构的密封面暴露在流道中，易造成磨损而失效，另外，盘阀还存在较大腔体，硅粉容易堆积造成阀门卡涩。球阀在硅粉输送过程中，则容易造成喷涂耐磨层磨损脱落，造成密封失效，若球阀水平安装，仍可能出现腔体内积存硅粉造成阀门卡涩的现象。插板阀在使用过程中，当阀门内部密封失效时，在使用中会在较短时间内出现填料密封失效、物料外漏（氢气、氯硅烷），和阀杆抱死现象，难以得到大量应用和推广。基于上述硅粉输送工况的问题，亟需设计一种新的阀门结构来解决和保证硅粉输送工况中阀门的长期密封性能。

例如：公告号为CN202144876U的实用新型专利公开的全内衬滑动闸阀，在闸阀的主阀体内嵌装闸板框，闸板框内嵌装全陶瓷结构闸板，主阀体两侧固定支托板和支板架，密封板夹装全陶瓷结构闸板，支板架夹装密封板，支板架与密封板间夹装弹簧，支板架设有过流通道，过流通道内镶嵌陶瓷管，主阀体的两侧由副阀体夹装固定。该闸阀的过流部分为全陶瓷结构，耐磨损，耐腐蚀，抗冲刷，可适用于多晶硅硅粉传送，将密封面设计为面密封，密封面磨损后，其余部分密封面能继续补偿，起到密封作用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅粉输送密封阀，通过在现有阀体结构内设计硅粉收集腔和硅粉沉积腔，用于对插板移动过程中泄漏的硅粉进行缓冲和沉积，避免硅粉进入填料层而影响阀门密封，可延长现有插板阀的使用寿命，并提高多晶硅硅粉输送的安全性。

本实用新型通过下述技术方案实现：一种硅粉输送密封阀，包括设有插板的阀体，插板上连接阀杆，阀体上设有密封阀杆和阀体上盖的填料层，于填料层下方的填料腔内设硅粉收集腔，阀杆穿过填料层、硅粉收集腔后插入阀体，阀体内设硅粉沉积腔和密封插板的阀座，插板于阀座内竖向移动，插板一端穿过阀体流道连接阀杆，插板另一端延伸至硅粉沉积腔内。

于所述阀体上盖上设连通硅粉收集腔的压力表。

于所述阀体上盖上设连通硅粉收集腔的吹扫管线，吹扫管线上设开关阀，压力表设于开关阀与阀体上盖之间的吹扫管线上；于所述阀体上设连通硅粉沉积腔的排除管线，排除管线上设开关阀，吹扫管线与吹扫气源连通，排除管线与硅粉收集器连通。

所述吹扫管线与硅粉收集腔的连通孔于硅粉收集腔远离阀体的位置设置；所述排除管线与硅粉沉积腔的连通孔于硅粉沉积腔远离阀体的位置设置。

所述开关阀为球阀。

所述压力表为远程压力变送器。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：