[实用新型]一种芯片晶圆生产加工用夹具

权利要求书

1.一种芯片晶圆生产加工用夹具，包括基架（1）、立架（2），其特征在于：所述基架（1）顶面中心处固定设置有夹持架一（3），所述夹持架一（3）的一侧横向开设有导向滑槽（4），所述导向滑槽（4）内滑动设置有导向滑块（5），所述导向滑块（5）两侧均转动设置有一组转轮（6），所述转轮（6）与导向滑槽（4）相滑动配合，所述导向滑块（5）顶部固定设置有夹持架二（7），所述导向滑块（5）底部横向固定设置有传动齿杆（8），所述基架（1）顶面两侧外壁均垂直固定设置有立架（2）。

2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆生产加工用夹具，其特征在于：所述立架（2）相对向侧壁均转动设置有辅助照明灯（10）。

3.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆生产加工用夹具，其特征在于：所述基架（1）内壁固定设置有电机（11），所述电机（11）转轴同轴固定设置有啮合齿轮一（12），所述啮合齿轮一（12）的一侧转动设置有啮合齿轮二（13），所述啮合齿轮一（12）与啮合齿轮二（13）相传动啮合，所述啮合齿轮一（12）与啮合齿轮二（13）一侧均同轴固定设置有传动齿轮（14），所述传动齿轮（14）与之间传动齿杆（8）两侧外壁固定排列设置的齿块相传动啮合。

4.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆生产加工用夹具，其特征在于：所述夹持架一（3）与夹持架二（7）的顶面开设有可相组合成圆形的半圆放置槽（15），所述半圆放置槽（15）内壁均固定设置有防滑柔性胶层（16）。

5.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆生产加工用夹具，其特征在于：所述夹持架一（3）内壁开设有限制滑槽（17），所述限制滑槽（17）内滑动设置有限制滑块（18），所述限制滑块（18）的一侧外壁固定连接有限制杆（19）的一端，所述限制杆（19）的另一端固定连接夹持架二（7）侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆生产加工用夹具，其特征在于：所述基架（1）底面两侧均垂直固定设置有一组支撑立杆（9）。