[实用新型]一种氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置

权利要求书

1.一种氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，包括炉体（100），所述炉体（100）上连接有炉门（140），其特征在于，所述炉体（100）中部为不锈钢微波室（200）、左右两侧通过两个内壁（270）隔成两个外腔室（260），微波室和外腔室通过微波通道（250）连通，每个所述内壁（270）外侧分别设置1个微波发生器（210），微波室顶部设置有红外感温器（220），所述微波室（200）的一侧通过真空泵（230）与外部空气连通，另一侧与设置在所述炉体（100）外侧的氧气储存装置（500）和氩气储存装置（600）管路连通；在所述微波室（200）内设置有托架（300）。

2.如权利要求1所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述炉体（100）上连接有人机交互面板（700），所述人机交互面板（700）内置控制芯片，所述人机交互面板（700）与所述微波发生器（210）、所述红外感温器（220）、所述真空泵（230）电路连接。

3.如权利要求2所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述微波室（200）与所述氧气储存装置（500）、所述氩气储存装置（600）和所述真空泵（230）连通的管路上分别设置有控制阀A(510)、控制阀B（610）和泄压阀（240），所述控制阀A(510)、所述控制阀B（610）和所述泄压阀（240）分别与所述人机交互面板（700）连接。

4.如权利要求1所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述托架（300）的底部连接有旋转组件（400），所述旋转组件（400）包括电机（410）、传动组件（420），所述电机（410）连接所述传动组件（420）的一端，所述传动组件（420）的另一端与所述托架（300）的底部连接，所述托架（300）的底部还设置有滑轮（320）。

5.如权利要求3所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述托架（300）为分层式结构，所述托架（300）上放置有陶瓷坩埚（310），所述陶瓷坩埚（310）内盛装有氢化钛（330）。

6.如权利要求5所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述托架（300）有三层，分别放置有陶瓷坩埚（310），所述陶瓷坩埚（310）内设置有粉末状氢化钛（330）。

7.如权利要求5所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述炉体（100）上还设置有运行状态显示灯组（110）、电源开关（120）、急停开关（130）和压力表（180），所述运行状态显示灯组（110）、所述电源开关（120）、急停开关（130）和压力表（180）与分别所述人机交互面板（700）电性连接，所述人机交互面板（700）还与电机（410）电连接。

8.如权利要求1所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述炉门（140）与所述炉体（100）通过合页（190）连接，在所述炉门（140）上还设置有门锁（150）。

9.如权利要求8所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述炉门（140）上开设有可视窗（160）。

10.如权利要求1所述的氢化钛颗粒表面原位氧化成膜装置，其特征在于，所述炉体（100）的底部连接有可调节底座（170）。