[实用新型]一种用于高温蒸发器的坩埚及高温蒸发器有效
| 申请号： | 202221796396.1 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN217666425U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 赵登永;陆永波;蒋超;李凯;余善海 | 申请（专利权）人： | 宁波广新纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/12 | 分类号： | B22F9/12 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 曾晨 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高温 蒸发器 坩埚 | ||
1.一种用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，具有上开口和下开口，所述上开口的内径D1与所述下开口的内径d1的比值大于2，所述上开口的端面至所述坩埚内0.8*D1的内径所在的横截面的高度H1小于D1且大于d1，所述坩埚内0.8*D1的内径所在的横截面至所述坩埚内1.2*d1的内径所在的横截面的高度H2小于3*D1且大于d1，所述坩埚内1.2*d1的内径所在的横截面至所述下开口的端面的高度H3小于3*D1且大于d1。
2.根据权利要求1所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，所述上开口的端面至所述坩埚内0.8*D1的内径所在的横截面之间设有第一变径段，所述第一变径段的内径自所述上开口至所述下开口的方向逐渐减小；
所述坩埚内0.8*D1的内径所在的横截面至所述坩埚内1.2*d1的内径所在的横截面之间设有第二变径段，所述第二变径段的内径自所述上开口至所述下开口的方向逐渐减小。
3.根据权利要求2所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，所述上开口的端面至所述坩埚内0.8*D1的内径所在的横截面之间还设有第三变径段，所述第三变径段和所述第一变径段由上至下顺次排布，且所述第三变径段的内径自所述上开口至所述下开口的方向逐渐减小；或者，
所述上开口的端面至所述坩埚内0.8*D1的内径所在的横截面之间还设有第一固径段，所述第一固径段和所述第一变径段由上至下顺次排布。
4.根据权利要求1所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，所述坩埚内1.2*d1的内径所在的横截面至所述下开口的端面之间设有第四变径段和第二固径段，所述第四变径段和所述第二固径段自所述上开口至所述下开口的方向顺次排布，且所述第四变径段的内径自所述上开口至所述下开口的方向逐渐减小。
5.根据权利要求1所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，500mmD1100mm，100mmd15mm。
6.根据权利要求1所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，所述坩埚的壁厚为5～50mm。
7.根据权利要求1所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，所述坩埚的开口孔隙率为4.5～45％。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于高温蒸发器的坩埚，其特征在于，所述坩埚的壁厚与所述上开口的内径D1的比值为1:(4～20)。
9.一种高温蒸发器，其特征在于，包括固定框架和权利要求1至8中任一项所述的用于高温蒸发器的坩埚，所述固定框架设置在所述坩埚的外壁面上。
10.根据权利要求9所述的高温蒸发器，其特征在于，所述坩埚和所述固定框架之间设有填砂层。
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