[实用新型]一种用于芯片加工的打点机构有效
申请号: | 202221799093.5 | 申请日: | 2022-07-13 |
公开(公告)号: | CN218039108U | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 李庆元 | 申请(专利权)人: | 上海臣尔仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 吴启凡 |
地址: | 200000 上海市宝山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 加工 打点 机构 | ||
1.一种用于芯片加工的打点机构,包括工作支架,所述工作支架上固定安装有方形横梁,所述方形横梁上滑动安装有步进移动块,其特征在于,还包括:
放置板,所述放置板与所述步进移动块相连接;
升降管,所述升降管位于两块所述放置板之间,并与所述放置板滑动连接,且所述升降管的底端固定安装有打点管头;以及
计量机构,所述计量机构分别与所述放置板和升降管相连接;
其中,计量机构包括有传动组件和计数组件,所述传动组件分别与所述放置板和升降管相连接,传动组件上设有计数组件,所述计数组件还与所述放置板相连接。
2.根据权利要求1所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,所述传动组件包括:
卡接滑块,所述卡接滑块通过支杆与所述放置板相连接;
导轨,所述导轨位于所述升降管的侧壁上,并与所述卡接滑块卡装连接;
驱动齿条,所述驱动齿条位于所述升降管上;以及
从动齿轮,所述从动齿轮通过计数转轴与所述放置板转动连接,且所述从动齿轮还与所述驱动齿条啮合连接。
3.根据权利要求2所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,所述计数组件包括:
计数控制器,所述计数控制器位于所述放置板上,并与所述计数转轴相连接;
计数显示器,所述计数显示器与所述放置板相连接,并与所述计数控制器电连接;以及
警示器,所述警示器位于所述放置板上,且所述警示器还与所述计数显示器电连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,还包括:防护罩,所述防护罩位于所述步进移动块上;以及
进线口,所述进线口开设于所述防护罩的顶部上。
5.根据权利要求1所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,还包括:传送底座,所述传送底座与所述工作支架相连接;以及
半自动输送盘,所述半自动输送盘滑动安装在所述传送底座上,并与所述打点管头相配合安装。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造