[实用新型]一种用于芯片加工的打点机构有效

专利信息
申请号: 202221799093.5 申请日: 2022-07-13
公开(公告)号: CN218039108U 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 李庆元 申请(专利权)人: 上海臣尔仪器有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 代理人: 吴启凡
地址: 200000 上海市宝山区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 芯片 加工 打点 机构
【权利要求书】:

1.一种用于芯片加工的打点机构,包括工作支架,所述工作支架上固定安装有方形横梁,所述方形横梁上滑动安装有步进移动块,其特征在于,还包括:

放置板,所述放置板与所述步进移动块相连接;

升降管,所述升降管位于两块所述放置板之间,并与所述放置板滑动连接,且所述升降管的底端固定安装有打点管头;以及

计量机构,所述计量机构分别与所述放置板和升降管相连接;

其中,计量机构包括有传动组件和计数组件,所述传动组件分别与所述放置板和升降管相连接,传动组件上设有计数组件,所述计数组件还与所述放置板相连接。

2.根据权利要求1所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,所述传动组件包括:

卡接滑块,所述卡接滑块通过支杆与所述放置板相连接;

导轨,所述导轨位于所述升降管的侧壁上,并与所述卡接滑块卡装连接;

驱动齿条,所述驱动齿条位于所述升降管上;以及

从动齿轮,所述从动齿轮通过计数转轴与所述放置板转动连接,且所述从动齿轮还与所述驱动齿条啮合连接。

3.根据权利要求2所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,所述计数组件包括:

计数控制器,所述计数控制器位于所述放置板上,并与所述计数转轴相连接;

计数显示器,所述计数显示器与所述放置板相连接,并与所述计数控制器电连接;以及

警示器,所述警示器位于所述放置板上,且所述警示器还与所述计数显示器电连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,还包括:防护罩,所述防护罩位于所述步进移动块上;以及

进线口,所述进线口开设于所述防护罩的顶部上。

5.根据权利要求1所述的用于芯片加工的打点机构,其特征在于,还包括:传送底座,所述传送底座与所述工作支架相连接;以及

半自动输送盘,所述半自动输送盘滑动安装在所述传送底座上,并与所述打点管头相配合安装。

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