[实用新型]一种红外干涉高精度位移装置

权利要求书

1.一种红外干涉高精度位移装置，其特征在于；具备：

直线位移机构(9)；

移动干涉反射镜(4)，通过安装组件固定在所述直线位移机构(9)上以使得所述移动干涉反射镜(4)的测量光轴与所述直线位移机构(9)的运动轴重合；

纳米光栅(10)，安装在所述直线位移机构(9)上，所述纳米光栅(10)能够实时测量所述直线位移机构(9)的位移并发出位移信号；

数据采集机构，接收自所述纳米光栅(10)发出的位移信号并进行等间隔采样。

2.根据权利要求1所述的一种红外干涉高精度位移装置，其特征在于；所述安装组件包括连接座(8)和装配座(6)；

所述连接座(8)水平设置，所述连接座(8)的一端与所述直线位移机构(9)连接；

所述装配座(6)为框架式镂空结构，所述装配座(6)与所述连接座(8)另一端的下表面连接，所述移动干涉反射镜(4)安装在所述装配座(6)远离所述直线位移机构(9)的一侧，且所述移动干涉反射镜(4)的测量光轴与所述直线位移机构(9)的运动轴重合。

3.根据权利要求2所述的一种红外干涉高精度位移装置，其特征在于；在所述装配座(6)上还安装有位置探测器，当所述移动干涉反射镜(4)拆卸时，所述直线位移机构(9)能够往复移动以确认所述位置探测器上的光斑位置固定。

4.根据权利要求1所述的一种红外干涉高精度位移装置，其特征在于；在所述直线位移机构(9)的底部设置有组合调整台，所述组合调整台用于调节所述直线位移机构(9)的位置和角度以使得所述直线位移机构(9)的运动方向与所述移动干涉反射镜(4)的测量光轴方向平行。

5.根据权利要求4所述的一种红外干涉高精度位移装置，其特征在于；所述组合调整台包括垂直升降台、水平位移台和俯仰角度调整台，所述水平位移台安装在所述垂直升降台的上表面，所述俯仰角度调整台安装在所述水平位移台的上表面，所述直线位移机构(9)安装在所述俯仰角度调整台的移动端。

6.根据权利要求1所述的一种红外干涉高精度位移装置，其特征在于；所述数据采集机构包括模拟和数字比较电路(11)以及采集控制电路(12)；

所述模拟和数字比较电路(11)接收自所述纳米光栅(10)产生的位移信号并在每经过位移增量d时产生触发采集信号；

所述采集控制电路(12)接收自所述模拟和数字比较电路(11)发出的触发采集信号并采集当前位置处的光谱干涉信号光强。