[实用新型]一种吸笔

说明书

本实用新型涉及一种吸笔，包括中空的导气管，导气管的一端设有吸嘴装置，导气管的另一端设有手持装置，手持装置内部设有空腔，空腔内设有活塞，活塞将空腔分隔成第一气室和第二气室，手持装置上开设排气孔，排气孔的一端连通第一气室，排气孔的另一端连通手持装置外部，导气管内部与第二气室连通，手持装置上设有推动活塞运动的电动机构，电动机构包括电机、由电机驱动的凸轮、用于控制电机的开关，凸轮在转动过程中推动活塞以压缩第一气室空间，或凸轮的外凸端远离活塞以令第二气室空间缩小。该吸笔采用电驱动方式来推动活塞以令吸嘴产生负压，无需连接外部真空系统，便于携带且活动范围大。

技术领域

本实用新型涉及一种吸笔。

背景技术

在半导体制造过程中，经常需要对晶圆进行转运输送，虽然大多数工序都使用机台自动转运晶圆，但仍有一些环节需要手动转运输送，真空吸笔是在人工手动转运晶圆时经常使用的一个转运装置。

目前使用的真空吸笔主要由吸头（或吸盘）和连接真空系统的软管构成，需要依靠外部真空系统的抽真空使吸头内部产生负压从而吸附住晶圆，这种连接真空系统的软管结构使得吸笔移动范围受限，只能在固定点位上使用，真空系统体积较大不便于移动，使得现有技术中的吸笔不适合便携使用。

实用新型内容

本实用新型公开一种吸笔，无需连接外部的真空系统，采用开关控制的电动方式来控制活塞的运动，具有便携和使用舒适度佳的特点。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种吸笔，包括中空的导气管，所述导气管的一端设有吸嘴装置，所述导气管的另一端设有手持装置，所述手持装置内部设有空腔，所述空腔内设有活塞，所述活塞将所述空腔分隔成第一气室和第二气室，所述手持装置上开设排气孔，所述排气孔的一端连通所述第一气室，所述排气孔的另一端连通所述手持装置外部，所述导气管内部与所述第二气室连通；所述手持装置上设有推动所述活塞运动的电动机构，所述电动机构包括电机、由所述电机驱动的凸轮、用于控制所述电机的开关，所述凸轮在转动过程中推动所述活塞以压缩所述第一气室空间，或所述凸轮的外凸端远离所述活塞以令所述第二气室空间缩小。

进一步，所述空腔内设有导向杆，所述活塞沿所述导向杆运动。

进一步，位于所述第一气室的所述导向杆上套设复位弹簧，所述复位弹簧的一端固定于所述第一气室的内壁上，所述复位弹簧的另一端与所述活塞固定连接。

进一步，所述复位弹簧的外表面用保护膜包裹。

进一步，所述手持装置上设有手持部。

进一步，所述开关至少设置两个，其中一个所述开关用于控制所述电机正向转动，另一个所述开关用于控制所述电机反向转动。

进一步，所述开关采用电磁开关。

进一步，所述导气管与所述手持装置采用可拆卸方式连接。

进一步，所述吸嘴装置包括吸头、吸气孔及吸盘，所述吸头与所述导气管连接，所述吸盘设置于所述吸头外圈且与所述吸头的外圆周连接，所述吸头上开设连通所述导气管内部的吸气孔。

进一步，所述吸盘采用弹性体材质。

本实用新型所设计的吸笔采用电驱动方式来推动活塞以令吸嘴产生负压，导气管无需与外部的真空系统进行连接，令吸笔的活动范围扩大且方便携带；活塞的运动采用电驱动方式控制，即由开关控制电机正反转，电机带动凸轮沿一方向转动以推动活塞令吸嘴产生负压从而吸附住晶圆，电机带动凸轮沿相反方向转动令凸轮的外凸端远离活塞，从而令吸嘴释放吸力放下晶圆，该吸笔使用体验感更加舒适。

附图说明

图1为实施例中吸笔的外部结构示意图；

图2为实施例中吸笔的手持装置剖面结构示意图；