[实用新型]一种微小孔衍射光斑测量装置

说明书

本实用新型公开了一种微小孔衍射光斑测量装置，涉及测量装置技术领域，包括横梁调节支架，所述横梁调节支架的底部固定安装有调节支腿，所述横梁调节支架顶部的左侧固定安装有He‑Ne激光器，所述横梁调节支架的顶部且位于He‑Ne激光器的右侧固定安装有针孔板，所述横梁调节支架的顶部且位于针孔板的右侧固定安装有准直镜。本实用新型通过螺杆和调节螺套的作用，便于对压板的位置进行控制，使压板的顶部与横梁之间的连接处进行压紧，利用弹簧的作用，对压板的两侧进行拉动，使压板的上表面处于同一水平面上，避免压板发生倾斜的问题，从而便于对卡板进行固定，避免卡板在横梁的顶部自行滑动的问题，从而影响对衍射光斑的测量结果。

技术领域

本实用新型涉及测量装置技术领域，具体涉及一种微小孔衍射光斑测量装置。

背景技术

干涉测量法因具有高精度、非接触、全场测量的优点，成为了球面、非球面光学元件面形检测的主要方法，点衍射干涉测量技术是目前国内外超精面形检测领域研究的新热点，该方法通过微米尺寸小孔衍射产生近似理想的球面波作为参考面，摆脱了传统球面干涉仪标准镜头对其检测精度的限制，理论上可达到亚纳米级检测精度。

针对现有技术存在以下问题：

1、现有的微小孔衍射光斑测量装置，在对各个仪器之间的距离进行调节完成后，不便于对其进行锁动的问题，从而影响对衍射光斑的测量结果；

2、现有的微小孔衍射光斑测量装置，在对各个仪器之间的距离进行调节完成后，不便于对仪器进行调节，经常因为四者不在同一条之间上从而影响对衍射光斑的测量结果。

实用新型内容

本实用新型提供一种微小孔衍射光斑测量装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种微小孔衍射光斑测量装置，包括横梁调节支架，所述横梁调节支架的底部固定安装有调节支腿，所述横梁调节支架顶部的左侧固定安装有He-Ne激光器，所述横梁调节支架的顶部且位于He-Ne激光器的右侧固定安装有针孔板，所述横梁调节支架的顶部且位于针孔板的右侧固定安装有准直镜，所述横梁调节支架顶部的右侧且位于准直镜的右侧固定安装有远心光路，所述远心光路的右端通过传输线活动连接有采集设备。

所述横梁调节支架包括横梁，所述横梁的底部与调节支腿的顶部固定安装，所述横梁正面的顶部活动套接有耐磨橡胶板，所述耐磨橡胶板的外壁固定连接有卡板，所述横梁正面顶部的底侧搭接有压板，所述卡板上表面的中部固定安装有微调箱，所述微调箱的上表面滑动连接有支架板，所述支架板的底部固定安装有滑块支架。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述压板正面的两端固定安装有弹簧卡座，所述弹簧卡座的正面卡接有弹簧。

采用上述技术方案，该方案中的弹簧卡座、弹簧之间的相互配合，对压板的两侧进行拉动，使压板的上表面处于同一水平面上，避免压板发生倾斜的问题。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述压板上表面的中部固定安装有螺杆，所述螺杆外壁的顶部螺纹连接有调节螺套，所述调节螺套外壁的中部与卡板正面的顶部转动连接。

采用上述技术方案，该方案中的调节螺套、螺杆之间的相互配合，对压板的位置进行控制，使压板的顶部与横梁之间的连接处进行压紧。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述滑块支架的中部固定套接有螺套，所述螺套的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的两端固定安装有调节手柄。

采用上述技术方案，该方案中的调节手柄、螺纹杆、螺套之间的相互配合，使螺纹杆发生转动，从而使螺套的位置调节，从而便于对各个仪器之间的水平位置进行调节的目的。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述滑块支架的上下两端固定套接有导套，所述导套的内壁活动套接有导向导柱。