[实用新型]烧结支架、LTCC基片烧结装置

权利要求书

1.一种烧结支架，其特征在于，包括至少两层烧结台，沿所述烧结台表面延伸的方向，所述烧结台层叠设置，且在相邻两所述烧结台之间设置有垫块，将相邻两所述烧结台彼此隔开设置，并形成有用于放置LTCC基片的空间；

所述烧结台为多孔结构，且孔隙率为20～30％；

所述烧结台的表面粗糙度小于0.5um。

2.如权利要求1所述烧结支架，其特征在于，所述垫块分布于所述烧结台的相对侧边处。

3.如权利要求1所述烧结支架，其特征在于，所述垫块为耐温大于1000℃的垫块。

4.如权利要求1所述烧结支架，其特征在于，所述烧结台为耐温大于1000℃的烧结台。

5.如权利要求1所述烧结支架，其特征在于，所述烧结台的尺寸为100×100mm～300mm×300mm，厚度为1～10mm。

6.如权利要求1所述烧结支架，其特征在于，所述垫块的尺寸为10×10～15×15mm，所述垫块的高度大于LTCC基片的厚度，且所述垫块的高度小于LTCC基片的厚度与LTCC基片的长度×0.2％之和。

7.如权利要求1-6任一所述烧结支架，其特征在于，处于最顶层处的所述烧结台上还设置有盖板，处于最顶层处的所述烧结台和所述盖板之间设置有所述垫块，且形成有用于放置LTCC基片的空间。

8.一种LTCC基片烧结装置，其特征在于：包括炉体和设置在炉体内的如权利要求1-7任一项所述烧结支架，所述烧结支架的高度与炉体内腔体的高度相适应。

9.如权利要求8所述LTCC基片烧结装置，其特征在于，所述烧结支架底部设置有水平底板，所述的水平底板上设有装配孔，所述水平底板通过连接件与炉体的底板固定连接。