[实用新型]一种保压舱及气密性测试装置

说明书

本实用新型提供一种保压舱及气密性测试装置，所述保压舱包括舱体、自检密封盖、耳式支座及若干个紧固件；其中，所述舱体的顶部设置有开口，侧壁设置有至少一个通气接口；所述自检密封盖贴合设置于所述开口处；所述耳式支座设置于所述舱体靠近所述开口处的侧壁外周；其中，所述耳式支座上设置有若干个螺孔，所述螺孔的旋入口朝向与所述舱体的开口朝向相同；所述紧固件与所述螺孔连接，以将所述自检密封盖紧固于所述舱体上。通过本实用新型的保压舱及气密性测试装置解决了现有技术中离子源密封性测试耗时长，效率低的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种保压舱及气密性测试装置。

背景技术

离子注入设备是半导体制程中必不可少的设备，其中，离子注入设备中的离子源是一种使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。由于工艺制程需要，离子源工作在高真空环境中，其固定设置在一块密封板上，离子源密封板上设置有密封圈和螺孔；离子注入设备的腔体设置对应有一个腔体门，离子源直接通过离子源密封板安装固定在腔体内。

离子源需要与各种气体管路、电气管路连接，譬如，电极接入、冷却回路、供气管路、固体蒸发器；因此，离子源密封板会设置有各种法兰、接口。当离子源拆卸维修保养时，这些法兰、接口及管路也会拆卸，重新安装后可能会存在漏气的情况，这会影响到腔体的密封性，因此需要离子源气密性测试。

目前离子源保养后的气密性测试的流程为：首先，在离子源维护组装完成后检查外观、烘干并检查绝缘性；接着，将离子源装入离子注入设备；其后，对离子注入设备的腔室抽真空，观察真空读值并初步判断全系统密封性。

一旦存在气密性的问题，需要使用氦检仪配合喷洒氦气，逐点测试腔体各个位置，判断腔体气密不良的位置，这个逐点测试的过程异常繁琐，按照一般经验，其花费时间在3-24小时之间；而且，当逐点测试确认为离子源气密性不良后，需将真空系统破真空至大气环境，重新取出离子源，排查维修后重新测试气密性，这将严重影响设备的保养效率。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种保压舱及气密性测试装置，用于解决现有技术中离子源密封性测试耗时长，效率低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种保压舱，所述保压舱包括：舱体、自检密封盖、耳式支座及若干个紧固件；其中，

所述舱体的顶部设置有开口，侧壁设置有至少一个通气接口；

所述自检密封盖贴合设置于所述开口处；

所述耳式支座设置于所述舱体靠近所述开口处的侧壁外周；其中，所述耳式支座上设置有若干个螺孔，所述螺孔的旋入口朝向与所述舱体的开口朝向相同；

所述紧固件与所述螺孔连接，以将所述自检密封盖紧固于所述舱体上。

可选地，所述自检密封盖还包括密封圈，所述自检密封盖与所述开口的贴合区域设置有凹槽，所述密封圈设置在所述凹槽内。

可选地，所述紧固件包括若干个螺钉及若干个L型铜扣，其中，

所述L型铜扣包括相互垂直的固定力臂及内扣力臂，所述固定力臂通过所述螺钉与所述耳式支座连接；其中，所述固定力臂中设置有沉孔，所述螺钉贯穿所述沉孔并与所述螺孔连接。

可选地，所述紧固件还包括若干个弹簧；所述弹簧设置在所述沉孔内，所述螺钉贯穿所述弹簧及所述沉孔并与所述螺孔连接。

可选地，所述耳式支座上还设置有至少一个定位销，所述定位销设置在所述耳式支座上所述自检密封盖与所述开口的贴合区域。

本实用新型还提供一种气密性测试装置，所述测试装置包括前所述的保压舱。

可选地，所述测试装置还包括：气压表、限压阀及放气阀，所述舱体的侧壁设置有四个通气接口；其中，