[实用新型]一种单晶拉棒车间冷却控制系统

说明书

为了解决现有的单晶炉在进行水冷却的过程中，工艺水池中的水达到溢流位置后直接将水沿排水口直接排出，大大浪费了水资源，提高了生产成本的问题，本实用新型提出一种单晶拉棒车间冷却控制系统，工艺冷却水池底部设有主出水口、次出水口，主出水口与电动阀组输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池内的冷却水输出至电动阀组内，次出水口连接设有自循环水管装置，自循环水管装置另一端与补水主管连接，通过在工艺冷却水池的次出水口处连接自循环水管装置，自循环水管装置将达标但超过溢流口水位的工艺水输送输出至补水主管为冷却塔组补水，提高资源利用率，降低消耗，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶拉棒车间冷却设备领域，较为具体的，涉及到一种单晶拉棒车间冷却控制系统。

背景技术

单晶拉棒是用于制造半导体器件用的。单晶拉棒是太阳能电池的，单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在单晶炉的炉膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒在制作过程需要进行冷却，使得晶棒固定成型。单晶炉的周向外侧设置有螺旋状的冷却通道，冷却流体在冷却通道内流动以对单晶炉及其内部的材料进行冷却。

现有的单晶炉在进行水冷却的过程中，工艺水池中的水达到溢流位置后直接将水沿排水口直接排出，大大浪费了水资源，提高了生产成本。

有鉴于此，本实用新型提出一种循环利用工艺冷却水池水的、方便使用的，一种单晶拉棒车间冷却控制系统。

实用新型内容

有鉴于此，为了解决现有的单晶炉在进行水冷却的过程中，工艺水池中的水达到溢流位置后直接将水沿排水口直接排出，大大浪费了水资源，提高了生产成本的问题，本实用新型提出一种单晶拉棒车间冷却控制系统，工艺冷却水池21底部设有主出水口24、次出水口25，主出水口24与电动阀组3输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池21内的冷却水输出至电动阀组3内，次出水口25连接设有自循环水管装置9，自循环水管装置9另一端与补水主管7连接，通过在工艺冷却水池21的次出水口25处连接自循环水管装置9，自循环水管装置9将达标但超过溢流口211水位的工艺水输送输出至补水主管7为冷却塔组1补水，提高资源利用率，降低消耗，降低生产成本。

一种单晶拉棒车间冷却控制系统，包括冷却塔组1、工艺冷却水池组2、电动阀组3、冷却水供水主管4、冷却水回水主管5、单晶炉设备组6、补水主管7、RO水补水主管8、自循环水管装置9，其特征在于：冷却塔组1输出端与工艺冷却水池组2输入端通过管道连接，工艺冷却水池组2输出端与电动阀组3通过管道连接，电动阀组3输出端与单晶炉设备组6输入端通过冷却水供水主管4连接，单晶炉设备组6输出端与冷却塔组1输入端通过冷却水回水主管5连接，工艺冷却水池组2由至少2个工艺冷却水池21组成，工艺冷却水池21顶部设有第三补水口22、第四补水口23，第三补水口22用于为工艺冷却水池21接收正常RO水补水，第四补水口23用于为工艺冷却水池21接收应急自来水水补水，RO水补水主管8通过管道与第三补水口22连接，补水主管7通过管道与第四补水口23连接，工艺冷却水池21内设有电导率传感器，用于监测工艺冷却水池21内水质，工艺冷却水池21底部设有主出水口24、次出水口25，主出水口24与电动阀组3输入端通过管道连接，用于将工艺冷却水池21内的冷却水输出至电动阀组3内，次出水口25连接设有自循环水管装置9，用于将工艺冷却水池21中的超量达标水通过自循环水管装置9输出至补水主管7为冷却塔组1补水，自循环水管装置9一端与次出水口25连接，自循环水管装置9另一端与补水主管7连接。

进一步的，自循环水管装置9包括自循环主管91、自循环主管91从上到下依次设有第一蝶阀、第一压力表92、第一Y型过滤器93、第一泄水阀94、第一软接头、第一电动水泵95、第二软接头、第二压力表96、第一止回阀97、第二蝶阀、第三蝶阀、过滤器98、第四蝶阀，第一电动水泵95与电导率传感器电性连接。