[实用新型]一种真空腔室门移动装置

权利要求书

1.一种真空腔室门移动装置，其特征在于，包括：

工字钢梁(10)、地面立柱(20)、第一腔体顶部立柱(30)、至少两个电驱动装置(40)以及至少两个悬挂铰链(50)；

其中，工字钢梁(10)的两端固定在所述地面立柱(20)以及第一腔体顶部立柱(30)之上；地面立柱(20)支撑固定在地面基础上，第一腔体顶部立柱(30)支撑固定在真空腔室的顶部上；

电驱动装置(40)通过滚轮可移动地设置在工字钢梁(10)上；悬挂铰链(50)固定设置在电驱动装置(40)的下方，用于连接所述真空腔室门(70)。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔室门移动装置，其特征在于，还包括第二腔体顶部立柱(60)，第二腔体顶部立柱(60)支撑固定在真空腔室的顶部上，并且连接固定工字钢梁(10)的中间段。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔室门移动装置，其特征在于，第一腔体顶部立柱(30)包括第一悬臂(31)，通过所述第一悬臂固定连接所述工字钢梁(10)的上翼板。

4.根据权利要求1所述的一种真空腔室门移动装置，其特征在于，悬挂铰链(50)为可调悬挂铰链。

5.根据权利要求2所述的一种真空腔室门移动装置，其特征在于，第二腔体顶部立柱(60)包括第二悬臂(61)，通过所述第二悬臂固定连接所述工字钢梁(10)的上翼板。

6.根据权利要求1所述的一种真空腔室门移动装置，其特征在于，电驱动装置(40)的滚轮设置在工字钢梁(10)腹板两侧的下翼缘上。

7.根据权利要求1所述的一种真空腔室门移动装置，其特征在于，还包括设置在工字钢梁(10)两端的止挡件(80)。