[实用新型]一种等离子沉积设备

说明书

本实用新型提供一种等离子沉积设备，涉及等离子沉积技术领域，包括设备本体，所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱，所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒，所述沉积盒的顶部开设有反应室，所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道，所述反应室的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧，四个所述第一弹簧的一端均焊接有弧形板，四个所述弧形板的底部均对应滑动连接在滑道的内部，本实用新型，通过在等离子沉积设备内部设置弧形板，配合弹簧从而可以固定不同大小的物体，解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体，给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。

技术领域

本实用新型涉及等离子沉积技术领域，尤其涉及一种等离子沉积设备。

背景技术

等离子沉积是将低压气体放电形成的等离子体应用于化学气相沉积的一项具有发展前途的新技术。是利用等离子激发的化学气相沉积，借助于气体辉光放电产生的低温等离子体，增强了反应物质的化学活性，促进了气体间的化学反应，从而在低温下也能在基片上形成新的固体膜。

现有等离子沉积设备在对物体表面沉积附着固体膜时，在沉积设备内部的固定装置上只能固定一种大小的物体，没法根据现场实际情况固定不同大小的物体进行等离子沉积，给等离子沉积设备的使用造成了一定的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的是，通过在等离子沉积设备内部设置弧形板，配合弹簧从而可以固定不同大小的物体，解决了传统的等离子沉积设备没法根据现场实际情况固定不同大小的物体，给等离子沉积设备的使用造成了一定局限性的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种等离子沉积设备，包括设备本体，所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱，所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒，所述沉积盒的顶部开设有反应室，所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个滑道，所述反应室的内壁延圆周方向等距固定有四个第一弹簧，四个所述第一弹簧的一端均焊接有弧形板，四个所述弧形板的底部均对应滑动连接在滑道的内部，所述沉积盒的顶部靠近反应室的内壁开设有卡槽，所述沉积盒的顶部靠近后表面一侧通过铰链转动连接有顶盖，所述设备本体的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮，所述设备本体的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有安全门。

优选的，所述沉积盒的顶部靠近前表面开设有凹槽，所述凹槽的内部底面固定有两个第二弹簧。

优选的，两个所述第二弹簧的顶部之间固定有限位块，所述沉积盒的前表面靠近顶部边缘处固定有按钮。

优选的，所述顶盖的底部固定有卡边，所述顶盖的前表面靠近顶部固定有手柄，所述顶盖的顶部固定有离子发生器，所述离子发生器的前表面靠近一侧边缘处固定有滤网。

优选的，所述卡边滑动连接在卡槽的内部，所述离子发生器的顶部等距固定有多个散热板。

优选的，所述控制箱的前表面靠近一侧边缘处固定有显示屏，所述控制箱的前表面靠近另一侧边缘处固定有调节旋钮。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型中，本实用新型在使用时只需要手持手柄，按下按钮使得限位块收缩回凹槽的内部，将顶盖打开，然后将需要沉积的物体放置在反应室内，使反应室内部的弧形板在第一弹簧的弹力作用下贴合在物体外表面，从而将物体固定夹持，然后将顶盖与沉积盒相卡合，时顶盖底部的卡边的外表壁贴合在卡槽的内壁，即可完成卡合，因为在反应室的内部底面开设有滑道，并且将弧形板的底部滑动连接在滑道的内部，从而防止在对物体进行沉积时，设备出现振动使物体在反应室的内部晃动。