[实用新型]一种预包封基板有效

专利信息
申请号: 202221912475.4 申请日: 2022-07-25
公开(公告)号: CN217768297U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 张光耀 申请(专利权)人: 合肥矽迈微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 预包封基板
【权利要求书】:

1.一种预包封基板,包括预封层(6)和载板(1),所述载板(1)表面设置有铜膜(2),预封层(6)设置在载板(1)的正上方,其特征在于,所述预封层(6)的内部包含至少一个凸起(3),每个凸起(3)的上端暴露于预封层(6)的表面,且下端设置有引脚(7),引脚(7)与铜膜(2)齐平,每个凸起(3)的表面设置有凹陷口(4)用以盛放焊料和倒装贴装。

2.根据权利要求1所述的预包封基板,其特征在于,每个所述凸起(3)的上端暴露于预封层(6)表面的方式为研磨,预封层(6)具体为环氧树脂塑封料。

3.根据权利要求2所述的预包封基板,其特征在于,每个所述凸起(3)的表面通过部分蚀刻的方式形成凹陷口(4)。

4.根据权利要求3所述的预包封基板,其特征在于,所述凹陷口(4)为弧度内凹陷,其深度范围为10~50μm。

5.根据权利要求1所述的预包封基板,其特征在于,所述铜膜(2)通过压合形成在载板(1)的表面,所述铜膜(2)的厚度≥15μm。

6.根据权利要求1所述的预包封基板,其特征在于,所述凸起(3)通过涂膜、光刻、显影和电镀的工艺形成。

7.根据权利要求1所述的预包封基板,其特征在于,部分蚀刻每个凸起(3)形成凹陷口(4)后在凹陷口(4)的表面形成防氧化层(5)。

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