[实用新型]晶圆承载装置

权利要求书

1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括底座、多个第一支撑部以及多个第一夹紧机构；所述底座上设置有第一承载工位，多个所述第一支撑部顺沿所述第一承载工位的边缘布置，每一所述第一支撑部上设置有第一真空吸附孔；所述第一真空吸附孔被配置为吸附放置于所述第一承载工位上的晶圆；多个所述第一夹紧机构环绕所述第一承载工位布置，多个所述第一夹紧机构被配置为夹住放置于所述第一承载工位上的晶圆的周向侧面。

2.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述底座上还设置有第二承载工位以及顺沿所述第二承载工位的边缘布置的多个第二支撑部，所述第二承载工位对应的承载区域大于所述第一承载工位对应的承载区域；每一所述第二支撑部上设置有第二真空吸附孔，所述晶圆承载装置还包括多个第二夹紧机构，所述第二真空吸附孔被配置为吸附放置于所述第二承载工位上的晶圆，多个所述第二夹紧机构连接于所述底座上并环绕所述第二承载工位的边缘布置，多个所述第二夹紧机构被配置为夹住所述第二承载工位上的晶圆的周向侧面。

3.根据权利要求2所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第二承载工位对应的承载区域与所述第一承载工位对应的承载区域同心设置。

4.根据权利要求3所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第二支撑部相对于所述底座的凸出高度大于所述第一支撑部相对于所述底座的凸出高度，所述底座上还设置有多个位于所述第一承载工位外侧的防刮伤块，所述防刮伤块相对于所述底座的凸出高度小于所述第二支撑部相对于所述底座的凸出高度，且大于所述第一支撑部相对于所述底座的凸出高度。

5.根据权利要求2所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述晶圆承载装置还包括升降机构，所述升降机构上设置有第一支撑柱和第二支撑柱，所述升降机构被配置为驱动所述第一支撑柱和/或所述第二支撑柱选择性地上升和下降，所述第一支撑柱穿过所述底座位于所述第一承载工位内，所述第二支撑柱穿过所述底座位于所述第二承载工位内。

6.根据权利要求5所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述升降机构包括升降气缸和与所述升降气缸传动连接的支撑座，所述支撑座朝向所述底座的一侧设置有多个所述第一支撑柱和多个所述第二支撑柱，所述第二支撑柱长于所述第一支撑柱。

7.根据权利要求2至6任意一项所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一夹紧机构包括第一摆动气缸和与所述第一摆动气缸传动连接的第一夹持块，所述第一夹持块在所述第一摆动气缸的驱动下摆向或摆离所述第一承载工位的边缘；

和/或，所述第二夹紧机构包括第二摆动气缸和与所述第二摆动气缸传动连接的第二夹持块，所述第二夹持块在所述第二摆动气缸的驱动下摆向或摆离所述第二承载工位的边缘。

8.根据权利要求7所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一夹持块和所述第二夹持块均为柔性材质。

9.根据权利要求2至6任意一项所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一支撑部的数量为3个，3个所述第一支撑部顺沿所述第一承载工位的边缘等间隔布置；

和/或，所述第二支撑部的数量为3个，3个所述第二支撑部顺沿所述第二承载工位的边缘等间隔布置。

10.根据权利要求2至6任意一项所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述底座上还设置有多个镂空孔，所述镂空孔位于所述第一承载工位的外侧以及所述第二承载工位的内侧，所述第一夹紧机构位于所述镂空孔中。