[实用新型]一种多晶硅制备节能回收系统

权利要求书

1.一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，包括还原炉（100）、第一换热器（210）、冷却换热系统（300）、吸收塔（400）和解析塔（500），所述还原炉（100）的尾气出口与所述冷却换热系统（300）的尾气进口相连，所述冷却换热系统（300）的气相出口与所述吸收塔（400）的废气进口相连，所述冷却换热系统（300）的液相出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连，所述第一换热器（210）的管程出口与所述解析塔（500）的富液进口相连，所述吸收塔（400）的冷氢出口与所述冷却换热系统（300）的冷媒进口相连，所述吸收塔（400）的富液出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连通，所述解析塔（500）的贫液出口与所述第一换热器（210）的壳程进口相连，所述第一换热器（210）的壳程出口与所述吸收塔（400）的贫液进口相连通。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述冷却换热系统（300）包括一级换热器（310）和二级换热器（320），所述还原炉（100）的尾气出口与所述一级换热器（310）的壳程进口相连通，所述一级换热器（310）的气相出口与所述二级换热器（320）的壳程进口相连，所述二级换热器（320）的气相出口与所述吸收塔（400）的废气进口相连，所述一级换热器（310）和所述二级换热器（320）的液相出口均与所述第一换热器（210）的管程进口相连，所述吸收塔（400）的冷氢出口与所述二级换热器（320）管程进口相连，所述二级换热器（320）管程出口与所述一级换热器（310）的管程进口相连。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述冷却换热系统（300）还包括初级换热器（340）和压缩机（350），所述初级换热器（340）为空气冷却器，所述还原炉（100）的尾气出口与所述初级换热器（340）的壳程进口相连，所述初级换热器（340）的气相出口与所述压缩机（350）的进口相连，所述压缩机（350）的出口与所述一级换热器（310）的壳程进口相连，所述初级换热器（340）的液相出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，还包括第二换热器（220），所述吸收塔（400）的富液出口与所述第二换热器（220）的管程进口相连，所述第二换热器（220）的管程出口与所述第一换热器（210）的管程进口相连，所述第一换热器（210）的壳程出口与所述第二换热器（220）的壳程进口相连，所述第二换热器（220）的壳程出口与所述吸收塔（400）的贫液进口相连。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述第二换热器（220）的壳程进口处连接有氯硅烷回收管道（600），或，所述第二换热器（220）的壳程出口处连接有所述氯硅烷回收管道（600）。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，还包括活性炭吸附柱（700）、第三换热器（230）和第一加热器（240），所述冷却换热系统（300）的冷媒出口与所述活性炭吸附柱（700）的吸附进口相连，所述活性炭吸附柱（700）的吸附出口连接有氢气储罐（710），所述氢气储罐（710）与所述第三换热器（230）的管程进口相连，所述第三换热器（230）的管程出口与所述第一加热器（240）的加热进口相连，所述第一加热器（240）的加热出口与所述活性炭吸附柱（700）的脱附进口相连，所述活性炭吸附柱（700）的脱附出口与所述第三换热器（230）的壳程进口相连，所述第三换热器（230）的壳程出口与所述冷却换热系统（300）的尾气进口相连。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，所述活性炭吸附柱（700）的数量为至少三个，且至少三个所述活性炭吸附柱（700）并联设置，所述氢气储罐（710）还连接有氢气回收管道（720）。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅制备节能回收系统，其特征在于，还包括硅粉除尘装置（800），所述还原炉（100）的尾气出口与所述硅粉除尘装置（800）的进口相连，所述硅粉除尘装置（800）的出口与所述冷却换热系统（300）的尾气进口相连。