[实用新型]一种多工位独立真空控制设备

权利要求书

1.一种多工位独立真空控制设备，包括工作盘主轴(1)，其特征在于，所述工作盘主轴(1)的上端固定连接有小轴固定板(2)，所述小轴固定板(2)的表面均匀开设有三个通孔，且对应通孔内通过轴承转动套接有工作盘小轴(3)，所述工作盘小轴(3)内固定插套有旋转接头(4)，所述工作盘小轴(3)的上端固定安装有工作盘本体(5)，所述小轴固定板(2)的下侧固定连接有三个分别位于三个旋转接头(4)一侧的真空阀门(6)，所述工作盘主轴(1)内贯穿设置真空气管(7)，所述工作盘主轴(1)的下端外侧固定连接有九路气循环通道(8)；

所述真空阀门(6)包括固定安装在小轴固定板(2)下侧的L形支架(9)，所述L形支架(9)的下端侧壁固定插套有三通管(10)，所述三通管(10)的一端通过弯头(11)固定连通有主真空连接宝塔(12)，所述三通管(10)的前端固定连通有单向阀(13)，所述单向阀(13)的前侧固定连接有调节阀接头(14)，所述三通管(10)的另一端还固定连接有角阀(15)，所述角阀(15)远离三通管(10)的一端固定连通有工作盘连接宝塔(16)，所述角阀(15)上还固定连通有角阀开合控制通气嘴(17)和角阀关闭控制通气嘴(18)。

2.根据权利要求1所述的一种多工位独立真空控制设备，其特征在于，所述工作盘主轴(1)的下端外侧固定设置有检测框(19)，所述检测框(19)的上端侧壁固定插套有第一接近感应探头(20)，所述工作盘主轴(1)的外侧还固定连接有与第一接近感应探头(20)位置对应的第一接触板(21)。

3.根据权利要求2所述的一种多工位独立真空控制设备，其特征在于，所述检测框(19)的上端侧壁还固定插套有第二接近感应探头(22)，所述第二接近感应探头(22)设置在第一接近感应探头(20)的下侧，所述工作盘主轴(1)的外侧还固定连接有与第二接近感应探头(22)位置对应的第二接触板(23)。

4.根据权利要求3所述的一种多工位独立真空控制设备，其特征在于，所述检测框(19)的上端侧壁还固定插套有第三接近感应探头(24)，所述工作盘主轴(1)的外侧还固定连接有与第三接近感应探头(24)位置对应的第三接触板(25)。