[实用新型]一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构

权利要求书

1.一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构，其特征在于：包括架体(1)，所述架体(1)上设置有车体(2)，所述车体(2)内设置有测量仪(21)、泵机(22)、散热盘(23)、风扇(24)和换热组件(25)，所述测量仪(21)固定设置在车体(2)上，所述泵机(22)的入口端通过管道与散热盘(23)连通、出口端通过管道与换热组件(25)连通，所述换热组件(25)与散热盘(23)通过管道连通，所述泵机(22)、换热组件(25)和散热盘(23)之间的管道中循环流动有冷却介质，所述换热组件(25)用于使测量仪(21)与冷却介质之间发生热交换，所述风扇(24)固定设置在散热盘(23)上，所述风扇(24)用于对散热盘(23)内通过的冷却介质降温。

2.根据权利要求1所述的一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构，其特征在于，所述换热组件(25)包括换热盒(251)和若干片第一散热翅片(252)，所述换热盒(251)密封固定设置在测量仪(21)的外壁上，所述换热盒(251)的侧壁上开设有进水口和出水口，所述换热盒(251)的进水口通过管道与泵机(22)的出口端连通，所述换热盒(251)的出水口通过管道与散热盘(23)的入口端连通，若干片所述第一散热翅片(252)固定设置在测量仪(21)的外壁上，所述第一散热翅片(252)的一端伸入测量仪(21)中、另一端伸入换热盒(251)中并与冷却介质保持接触。

3.根据权利要求1所述的一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构，其特征在于，所述散热盘(23)包括安装框(231)，所述安装框(231)的两侧分别设置有流道，所述安装框(231)内平行设置有若干条散热管(232)，所述散热管(232)上螺旋设置有第二散热翅片(233)，所述散热管(232)的两端分别与安装框(231)两侧的流道连通，所述安装框(231)两侧的流道分别与泵机(22)和换热组件(25)连通。

4.根据权利要求1所述的一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构，其特征在于，所述车体(2)包括连接部(201)和安装部(202)，所述连接部(201)连接在架体(1)上，所述测量仪(21)和换热组件(25)设置在安装部(202)上，所述散热盘(23)、风扇(24)和泵机(22)设置在连接部(201)上，所述连接部(201)与安装部(202)的接触面之间设置有减震层(3)。

5.根据权利要求4所述的一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构，其特征在于，所述换热组件(25)与泵机(22)和散热盘(23)之间连接的管道采用软管。

6.根据权利要求1～5任意一项所述的一种应用于薄片涂层厚度检测的降温机构，其特征在于，所述车体(2)上设置有调节器，所述调节器用于调节风扇(24)的功率。